弘塑科技股份有限公司黃立佐獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉弘塑科技股份有限公司申請的專利單晶圓處理設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223284937U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422499678.0，技術領域涉及：H01L21/67；該實用新型單晶圓處理設備是由黃立佐;張修凱;許明哲設計研發完成，并于2024-10-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本單晶圓處理設備在說明書摘要公布了：本申請提供了一種單晶圓處理設備。單晶圓處理設備包括晶圓保持部、二流體噴嘴、壓力校正裝置以及移動裝置。所述晶圓保持部配置用于承載晶圓。所述二流體噴嘴配置用于向所述晶圓提供由氣體和工藝液體組成的混合流體。所述壓力校正裝置配置用于量測由所述二流體噴嘴提供的所述混合流體的壓力值。所述移動裝置與所述二流體噴嘴連接，配置用于控制所述二流體噴嘴在所述壓力校正裝置與所述晶圓保持部之間的位置進行移動。
本實用新型單晶圓處理設備在權利要求書中公布了：1.一種單晶圓處理設備，其特征在于，包括： 晶圓保持部，可繞軸旋轉，配置用于承載晶圓； 二流體噴嘴，配置用于向所述晶圓提供由氣體和工藝液體組成的混合流體； 壓力校正裝置，設置在所述晶圓保持部的一側，配置用于量測由所述二流體噴嘴提供的所述混合流體的壓力值；以及 移動裝置，與所述二流體噴嘴連接，配置用于控制所述二流體噴嘴在所述壓力校正裝置與所述晶圓保持部之間的位置進行移動。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人弘塑科技股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新竹市香山區中華路六段89號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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