東莞銳信儀器有限公司邢雨晗獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉東莞銳信儀器有限公司申請(qǐng)的專利MIM電容結(jié)構(gòu)、射頻無源器件以及基板獲國家實(shí)用新型專利權(quán),本實(shí)用新型專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN223284991U 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉:該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202422669038.X,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L23/64;該實(shí)用新型MIM電容結(jié)構(gòu)、射頻無源器件以及基板是由邢雨晗設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2024-11-01向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本MIM電容結(jié)構(gòu)、射頻無源器件以及基板在說明書摘要公布了:一種MIM電容結(jié)構(gòu)、射頻無源器件以及基板,涉及無源器件技術(shù)領(lǐng)域,MIM電容結(jié)構(gòu)包括:第一電極、疊層介質(zhì)層以及第二電極;疊層介質(zhì)層覆蓋第二電極的頂面以及側(cè)面,且沿平行于第二電極的底面的方向延伸預(yù)設(shè)長(zhǎng)度;第一電極至少覆蓋疊層介質(zhì)層的頂面的部分或全部;疊層介質(zhì)層至少包括第一介質(zhì)層、第二介質(zhì)層以及第三介質(zhì)層;第一介質(zhì)層覆蓋第二電極的頂面以及側(cè)面;第二介質(zhì)層的折射率大于第一介質(zhì)層與第三介質(zhì)層的折射率,第二介質(zhì)層具有負(fù)應(yīng)力,第三介質(zhì)層具有正應(yīng)力。本申請(qǐng)可以克服單一介質(zhì)層在底角的縫隙問題。
本實(shí)用新型MIM電容結(jié)構(gòu)、射頻無源器件以及基板在權(quán)利要求書中公布了:1.一種MIM電容結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:第一電極1、疊層介質(zhì)層3以及第二電極2; 所述疊層介質(zhì)層3覆蓋所述第二電極2的頂面以及側(cè)面,且沿平行于所述第二電極2的底面的方向延伸預(yù)設(shè)長(zhǎng)度; 所述第一電極1至少覆蓋所述疊層介質(zhì)層3的頂面的部分或全部; 所述疊層介質(zhì)層3至少包括依次層疊的第一介質(zhì)層31、第二介質(zhì)層32以及第三介質(zhì)層33;所述第一介質(zhì)層31覆蓋所述第二電極2的頂面以及側(cè)面; 所述第二介質(zhì)層32的折射率大于所述第一介質(zhì)層31與所述第三介質(zhì)層33的折射率,所述第二介質(zhì)層32具有負(fù)應(yīng)力,所述第三介質(zhì)層33具有正應(yīng)力; 所述第二介質(zhì)層32靠近所述第二電極2側(cè)面下端位置處的厚度小于上端位置處的厚度,并且,所述第三介質(zhì)層33靠近所述第二電極2側(cè)面下端位置處的厚度小于其上端位置處的厚度。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人東莞銳信儀器有限公司,其通訊地址為:523000 廣東省東莞市塘廈鎮(zhèn)蛟坪路77號(hào)1棟102室;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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