清華大學王雪獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉清華大學申請的專利一種基于硅基的新型腔體及紅外氣體傳感器獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223284112U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422705984.5,技術領域涉及:G01N21/3504;該實用新型一種基于硅基的新型腔體及紅外氣體傳感器是由王雪;任紅軍設計研發完成,并于2024-11-06向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種基于硅基的新型腔體及紅外氣體傳感器在說明書摘要公布了:本實用新型公開了一種基于硅基的新型腔體及紅外氣體傳感器,基于硅基的新型腔體包括:蝕刻于硅基片上的所述V形光通道,V形光通道由兩個分槽一端聯通形成,且其中之一分槽遠離聯通端設有光源離軸拋物面,另一分槽遠離聯通端設有探測器離軸拋物面,兩個分槽的聯通處蝕刻反射面,V形光通道與透氣孔聯通。它通過V形光通道減少了光路的反射次數,有效簡化了加工步驟,同時降低了光線多次反射后的衰減。
本實用新型一種基于硅基的新型腔體及紅外氣體傳感器在權利要求書中公布了:1.一種基于硅基的新型腔體,其特征在于,包括:蝕刻于硅基片上的V形光通道,V形光通道由兩個分槽一端聯通形成,且其中之一分槽遠離聯通端設有光源離軸拋物面9,另一分槽遠離聯通端設有探測器離軸拋物面10,兩個分槽的聯通處蝕刻反射面11,V形光通道與透氣孔4聯通。
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