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龍圖騰網(wǎng)獲悉湖南二零八先進(jìn)科技有限公司申請(qǐng)的專利一種半球諧振子質(zhì)量調(diào)平裝置獲國家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN223283668U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202422855504.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01C19/5691；該實(shí)用新型一種半球諧振子質(zhì)量調(diào)平裝置是由王飛;盧廣鋒;王凡;劉春華設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-11-22向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種半球諧振子質(zhì)量調(diào)平裝置在說明書摘要公布了：本實(shí)用新型公開了半球諧振子質(zhì)量調(diào)平裝置，包括真空腔體、安裝結(jié)構(gòu)、質(zhì)量調(diào)平機(jī)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；安裝結(jié)構(gòu)包括轉(zhuǎn)臺(tái)和多個(gè)可周向旋轉(zhuǎn)安裝于轉(zhuǎn)臺(tái)外緣的諧振子安裝機(jī)構(gòu)，多個(gè)諧振子安裝機(jī)構(gòu)沿轉(zhuǎn)臺(tái)周向間隔均布，質(zhì)量調(diào)平機(jī)構(gòu)包括束徑掩膜蓋和離子源，離子源固定于真空腔體內(nèi)，其離子束出口的中心位置與半球諧振子的唇沿平面在同一水平面上，束徑掩膜蓋活動(dòng)安裝于真空腔體中，其側(cè)壁上開設(shè)有過束孔，束徑掩膜蓋可相對(duì)真空腔體上下移動(dòng)至掩膜狀態(tài)，束徑掩膜蓋位于掩膜狀態(tài)時(shí)，每個(gè)諧振子安裝機(jī)構(gòu)及其上的半球諧振子均罩設(shè)其內(nèi)，其過束孔與離子源離子束出口相對(duì)設(shè)置。本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)半球諧振子的批量化調(diào)平處理，提高半球諧振子質(zhì)量調(diào)平效率。

本實(shí)用新型一種半球諧振子質(zhì)量調(diào)平裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半球諧振子質(zhì)量調(diào)平裝置，其特征在于，包括真空腔體1、安裝結(jié)構(gòu)2、質(zhì)量調(diào)平機(jī)構(gòu)3和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4； 所述安裝結(jié)構(gòu)2包括轉(zhuǎn)臺(tái)21和多個(gè)諧振子安裝機(jī)構(gòu)22，轉(zhuǎn)臺(tái)21水平可周向旋轉(zhuǎn)安裝于真空腔體1中，諧振子安裝機(jī)構(gòu)22水平可周向旋轉(zhuǎn)安裝于轉(zhuǎn)臺(tái)21的外緣，多個(gè)諧振子安裝機(jī)構(gòu)22沿轉(zhuǎn)臺(tái)21的周向間隔均布，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4安裝于真空腔體1上，且與轉(zhuǎn)臺(tái)21和多個(gè)諧振子安裝機(jī)構(gòu)22傳動(dòng)相連，用于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)21水平周向旋轉(zhuǎn)，以及驅(qū)動(dòng)諧振子安裝機(jī)構(gòu)22水平周向旋轉(zhuǎn)； 質(zhì)量調(diào)平機(jī)構(gòu)3包括束徑掩膜蓋31和離子源32，離子源32固定于真空腔體1內(nèi)，其離子束出口的中心位置與半球諧振子的唇沿平面在同一水平面上，束徑掩膜蓋31活動(dòng)安裝于真空腔體1中，其側(cè)壁上開設(shè)有過束孔311，束徑掩膜蓋31可相對(duì)真空腔體1上下移動(dòng)至掩膜狀態(tài)，所述束徑掩膜蓋31位于掩膜狀態(tài)時(shí)，多個(gè)諧振子安裝機(jī)構(gòu)22，以及每個(gè)諧振子安裝機(jī)構(gòu)22上的半球諧振子均罩設(shè)其內(nèi)，其過束孔311與離子源32離子束出口相對(duì)設(shè)置。

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