蘇州芯輪半導體科技有限公司張磊獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州芯輪半導體科技有限公司申請的專利一種拋光研磨轉臺及拋光研磨裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119304774B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411745646.2，技術領域涉及：B24B37/10；該發明授權一種拋光研磨轉臺及拋光研磨裝置是由張磊;溫鵬飛設計研發完成，并于2024-12-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種拋光研磨轉臺及拋光研磨裝置在說明書摘要公布了：本發明公開了一種拋光研磨轉臺，包括大理石平臺和拋光盤，大理石平臺上設置有安裝架，安裝架上設置有與拋光盤連接的中空直驅電機，電機轉子內部還設置有中空管，中空管與拋光盤固定連接，底部與磁環鏈接，安裝架底部設置有讀數傳感器，讀數傳感器與磁環配合形成磁環編碼器；安裝架外周方向的大理石平臺上均勻設置有多個氣浮支撐塊，氣浮支撐塊頂部端面設置拋光盤下方，氣浮支撐塊內設置有流道，流道一端與氣源連接，流道的出氣孔位于氣浮支撐塊的頂部端面上；拋光盤表面設置有拋光墊；磁環編碼器用于檢測拋光盤旋轉時的跳動量，氣源根據跳動量控制供氣壓力。本發明加工時具有良好的穩定性，極大降低了使用過程中的跳動，提高拋光品質。
本發明授權一種拋光研磨轉臺及拋光研磨裝置在權利要求書中公布了：1.一種拋光研磨轉臺，其特征在于，包括大理石平臺和拋光盤，所述大理石平臺上設置有安裝架，所述安裝架上設置有中空直驅電機，所述中空直驅電機的轉子端面與拋光盤底部連接； 所述轉子內部還設置有中空管，所述中空管頂部與拋光盤固定連接，所述中空管底部穿過中空直驅電機與安裝底板連接，所述安裝底板上設置有磁環，所述安裝架底部設置有讀數傳感器，所述讀數傳感器與磁環配合形成磁環編碼器； 所述安裝架外周方向的大理石平臺上均勻設置有多個氣浮支撐塊，所述氣浮支撐塊頂部端面設置拋光盤下方，所述氣浮支撐塊內設置有流道，所述流道一端與氣源連接，所述流道的出氣孔位于氣浮支撐塊的頂部端面上； 所述拋光盤表面設置有拋光墊； 所述磁環編碼器用于檢測拋光盤旋轉時的跳動量，所述氣源根據跳動量控制供氣壓力。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州芯輪半導體科技有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市吳中經濟開發區吳中大道1183號30幢1樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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