深圳平湖實驗室查顯弧獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳平湖實驗室申請的專利半導體器件及其制備方法以及外延片獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120239310B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510710232.4,技術領域涉及:H10D30/67;該發明授權半導體器件及其制備方法以及外延片是由查顯弧;張道華;楊茂謹;萬玉喜;劉妍;焦騰;陳嘉祥設計研發完成,并于2025-05-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本半導體器件及其制備方法以及外延片在說明書摘要公布了:本申請涉及半導體領域,公開一種半導體器件及其制備方法以及外延片。該半導體器件包括襯底和設于襯底表面的p型半導體薄膜。該p型半導體薄膜的化學式為β?MzRhxGa1?x?z2yO3,M為摻雜金屬元素,M的受主能級小于等于0.55eV;其中:x的取值范圍為0.125≤x≤0.5,y的取值范圍為0.9≤y≤1.1,z的取值范圍為0<z≤0.03。以獲得一種p型β?Ga2O3材料的半導體器件,提高半導體器件的性能。
本發明授權半導體器件及其制備方法以及外延片在權利要求書中公布了:1.一種半導體器件,其特征在于,包括襯底和設于所述襯底表面的p型半導體薄膜; 所述p型半導體薄膜的化學式為β-MzRhxGa1-x-z2yO3,所述M為摻雜金屬元素,所述M的受主能級小于等于0.55eV; 其中:x的取值范圍為0.125≤x≤0.5,y的取值范圍為0.9≤y≤1.1,z的取值范圍為0z≤0.03。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人深圳平湖實驗室,其通訊地址為:518116 廣東省深圳市龍崗區平湖街道中科億方智匯產業園12棟;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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