無錫格瑞斯精密機械有限公司顧偉東獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉無錫格瑞斯精密機械有限公司申請的專利半導體零件三坐標表面精度測量儀及其測量方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120403516B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510898020.3,技術領域涉及:G01B21/00;該發明授權半導體零件三坐標表面精度測量儀及其測量方法是由顧偉東;秦春設計研發完成,并于2025-07-01向國家知識產權局提交的專利申請。
本半導體零件三坐標表面精度測量儀及其測量方法在說明書摘要公布了:本申請涉及三坐標測量設備技術領域,尤其是涉及半導體零件三坐標表面精度測量儀及其測量方法,測量儀包括機臺,機臺上安裝有檢測臺、橫移模組、測量模組和波紋管,機臺和檢測臺上安裝有固定波紋管的安裝盤,波紋管上安裝有插板,安裝盤上開設有插槽;安裝盤上安裝有固定桿,固定桿上轉動安裝有壓板,安裝盤上滑動安裝有升降桿,升降桿與壓板抵接,升降桿上安裝有固定盤,升降桿上套接有第二彈簧,升降桿遠離壓板的一端安裝有限位條;固定盤上安裝有連接桿,安裝盤上安裝有支撐板,支撐板上轉動安裝有轉桿,連接桿與轉桿滑動連接,轉桿上連接有對壓板進行固定的擋板。本申請具有提升半導體零件三坐標表面精度測量儀在操作過程中的便捷性的效果。
本發明授權半導體零件三坐標表面精度測量儀及其測量方法在權利要求書中公布了:1.半導體零件三坐標表面精度測量儀,其特征在于:包括機臺(1),所述機臺(1)上安裝有檢測臺(2),所述機臺(1)上安裝有控制所述檢測臺(2)移動的橫移模組(3),所述檢測臺(2)上安裝有對所述橫移模組(3)保護的波紋管(22),所述機臺(1)和所述檢測臺(2)上安裝有固定所述波紋管(22)的安裝盤(23),所述波紋管(22)上安裝有插板(221),所述安裝盤(23)上開設有容納所述插板(221)的插槽(231),所述安裝盤(23)上安裝有固定桿(241),所述固定桿(241)上轉動安裝有壓板(242),所述安裝盤(23)上滑動安裝有升降桿(251),所述升降桿(251)靠近所述壓板(242)的一端與所述壓板(242)抵接,所述升降桿(251)上安裝有固定盤(252),所述升降桿(251)上套接有第二彈簧(253),所述升降桿(251)遠離所述壓板(242)的一端安裝有限位條(254);所述固定盤(252)上安裝有連接桿(263),所述安裝盤(23)上安裝有支撐板(261),所述支撐板(261)上轉動安裝有轉桿(262),所述連接桿(263)與所述轉桿(262)滑動連接,所述轉桿(262)上連接有對所述壓板(242)進行固定的擋板(267),所述安裝盤(23)上滑動安裝有調節桿(264),所述調節桿(264)靠近所述轉桿(262)的一側的側壁上開設有嚙合齒,所述轉桿(262)靠近所述調節桿(264)的一端安裝有齒盤(265),所述齒盤(265)與所述調節桿(264)嚙合連接,所述調節桿(264)上安裝有載板(266),所述載板(266)上開設有收合槽(2661),所述擋板(267)通過所述收合槽(2661)滑動安裝在所述載板(266)上,所述安裝盤(23)上安裝有第二導向桿(243),所述第二導向桿(243)上滑動安裝有升降塊(244),所述第二導向桿(243)上套接有第一彈簧(245),所述第一彈簧(245)一端與所述升降塊(244)連接,另一端與所述安裝盤(23)連接,所述升降塊(244)靠近所述壓板(242)的一端設置為外凸的圓弧面,所述壓板(242)上安裝有凸塊(246),所述凸塊(246)與所述升降塊(244)的圓弧面抵接,所述升降塊(244)遠離所述壓板(242)的一端安裝有壓條(247),所述機臺(1)上安裝有進行測量的測量模組(4)。
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