買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司申請的專利半導體工藝設備及其加熱基座的溫度控制方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113905464B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產權局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202111113624.0，技術領域涉及：H05B3/02；該發(fā)明授權半導體工藝設備及其加熱基座的溫度控制方法是由張芳設計研發(fā)完成，并于2021-09-23向國家知識產權局提交的專利申請。

本半導體工藝設備及其加熱基座的溫度控制方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種加熱基座的溫度控制方法，包括：向可控硅元件提供與當前溫度對應的檢測控制電壓，并檢測可控硅元件向加熱基座提供的加熱電壓以及可控硅元件與加熱基座之間的供電電流，根據(jù)加熱電壓與供電電流確定加熱基座的當前電阻。比較當前電阻與陶瓷加熱基座在當前溫度下的預定電阻，當當前電阻與預定電阻之間的差值不大于第一預設差值閾值時，采用與陶瓷加熱基座對應的溫度控制方式控制可控硅元件向加熱基座輸出加熱電壓。在本發(fā)明中半導體工藝設備能夠自動判斷加熱基座是否為陶瓷加熱基座，并采用對應的溫度控制方式控制加熱電壓，消除了操作人員誤判基座類型的安全風險，提高了半導體工藝設備的安全性。本發(fā)明還提供一種半導體工藝設備。

本發(fā)明授權半導體工藝設備及其加熱基座的溫度控制方法在權利要求書中公布了：1.一種半導體工藝設備中加熱基座的溫度控制方法，其特征在于，所述半導體工藝設備包括加熱基座、溫控器和可控硅元件，所述溫控器用于根據(jù)目標溫度和所述加熱基座的當前溫度改變向所述可控硅元件提供的控制電壓，在與陶瓷加熱基座對應的溫度控制方式和與金屬加熱基座對應的溫度控制方式之間切換，以改變所述可控硅元件向所述加熱基座輸出的加熱電壓，所述溫度控制方法包括： 向所述可控硅元件提供與所述當前溫度對應的檢測控制電壓，并檢測所述可控硅元件向所述加熱基座提供的加熱電壓以及所述可控硅元件與所述加熱基座之間的供電電流，根據(jù)所述加熱電壓與所述供電電流確定所述加熱基座的當前電阻； 比較所述當前電阻與陶瓷加熱基座在所述當前溫度下的預定電阻，當所述當前電阻與所述預定電阻之間的差值不大于第一預設差值閾值時，采用所述與陶瓷加熱基座對應的溫度控制方式控制所述可控硅元件向所述加熱基座輸出加熱電壓。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市北京經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)文昌大道8號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。