買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司申請的專利半導(dǎo)體工藝設(shè)備及其加熱裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114188248B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202111503640.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體工藝設(shè)備及其加熱裝置是由王軍帥;魏景峰;趙聯(lián)波設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-12-09向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本半導(dǎo)體工藝設(shè)備及其加熱裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備及其加熱裝置，所公開的半導(dǎo)體工藝設(shè)備包括氣源腔室和管路組件，管路組件與氣源腔室連通，且位于氣源腔室之外；所公開的加熱裝置包括殼體和加熱組件，殼體用于與氣源腔室圍成封閉的加熱腔室，管路組件設(shè)于加熱腔室，加熱組件設(shè)于加熱腔室，且用于對加熱腔室內(nèi)的管路組件加熱。上述方案可以解決管路組件由加熱帶包覆加熱時，在加熱帶交接的地方容易出現(xiàn)裸露的間隙而造成管路組件內(nèi)的氣體冷凝而堵塞管路組件的問題。

本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體工藝設(shè)備及其加熱裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的加熱裝置，用于對進(jìn)入所述半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝腔室內(nèi)的反應(yīng)物在進(jìn)入所述工藝腔室前進(jìn)行加熱，其特征在于，所述半導(dǎo)體工藝設(shè)備包括氣源腔室（100）和管路組件（200），所述氣源腔室（100）用于儲存所述反應(yīng)物，所述管路組件（200）與所述氣源腔室（100）連通，且位于所述氣源腔室（100）之外； 所述加熱裝置包括殼體（300）和加熱組件（700），所述殼體（300）用于與所述氣源腔室（100）圍成封閉的加熱腔室，所述管路組件（200）設(shè)于所述加熱腔室，所述加熱組件（700）設(shè)于所述加熱腔室，且用于對所述加熱腔室內(nèi)的所述管路組件（200）加熱。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道8號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。