佳能特機株式會社青木泰一郎獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉佳能特機株式會社申請的專利搬運裝置及載架獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114752912B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202111609937.5,技術領域涉及:C23C14/56;該發明授權搬運裝置及載架是由青木泰一郎;岡部俊介;江澤光晴設計研發完成,并于2021-12-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本搬運裝置及載架在說明書摘要公布了:本發明提供能降低磁搬運中的磁性對磁式的位置檢測造成的影響的搬運裝置及載架。搬運裝置具備:搭載基板的載架;利用磁力搬運所述載架的搬運機構;以及對所述載架的搬運方向的位置進行檢測的磁式的檢測機構,所述載架具備:對所述基板進行支承的基板支承部;經由連接部與所述基板支承部的端部連接、對所述搬運機構的起磁性作用的永磁鐵進行支承的磁鐵支承部,所述檢測機構配置于比所述連接部靠所述基板支承部側的位置,所述連接部由磁性材料形成。
本發明授權搬運裝置及載架在權利要求書中公布了:1.一種搬運裝置,具備: 載架,其搭載基板; 搬運機構,其利用磁力搬運所述載架;以及 磁式的檢測機構,其對所述載架的搬運方向的位置進行檢測, 所述搬運裝置的特征在于, 所述載架具備: 基板支承部,其對所述基板進行支承;以及 磁鐵支承部,其經由連接部與所述基板支承部的端部相連接,對所述搬運機構的起磁性作用的永磁鐵進行支承, 所述檢測機構配置于比所述連接部靠所述基板支承部側的位置, 所述連接部由磁性材料形成。
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