株式會社斯庫林集團門間徹獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社斯庫林集團申請的專利襯底處理裝置及襯底處理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115083951B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210193391.8，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權襯底處理裝置及襯底處理方法是由門間徹設計研發完成，并于2022-03-01向國家知識產權局提交的專利申請。
本襯底處理裝置及襯底處理方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種襯底處理裝置及襯底處理方法。本發明的襯底處理裝置具備流路部、噴出部及檢測部。流體在流路部內流動。流體例如可以是液體，也可以是氣體。噴出部構成為能夠向用于對襯底進行處理的處理空間內噴出在流路部內流動的流體。檢測部檢測在流路部的內部所發生的放電。
本發明授權襯底處理裝置及襯底處理方法在權利要求書中公布了：1.一種襯底處理裝置，具備：流路部，供流體流動； 噴出部，構成為能夠向用于對襯底進行處理的處理空間內噴出在所述流路部內流動的所述流體；及 檢測部，借由將所述流路部的內部的電磁波的磁場成分轉換為電動勢，不與所述流體接觸地檢測在所述流路部的內部所發生的放電。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社斯庫林集團，其通訊地址為：日本京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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