東京毅力科創株式會社三枝裕司獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利氣體處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115116893B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210229166.5，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權氣體處理裝置是由三枝裕司;半田達也;笹原麗紅;旭健史郎;西村和晃;吉村章弘;古澤正樹設計研發完成，并于2022-03-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本氣體處理裝置在說明書摘要公布了：本發明涉及氣體處理裝置。提供一種能夠在使用含氟氣體和堿性氣體的氣體處理時抑制由于微粒而在基板產生缺陷的氣體處理裝置。對基板實施氣體處理的氣體處理裝置具有：腔室，其收容基板；氣體供給機構，其將含氟氣體和堿性氣體獨立地供給；以及氣體導入構件，其使自氣體供給機構供給來的含氟氣體與堿性氣體合流，并將含氟氣體與堿性氣體混合而成的混合氣體向腔室導入，氣體導入構件的包含含氟氣體與堿性氣體的合流部位的部分由鋁類材料構成，至少在包含合流部位的部分形成有樹脂涂層。
本發明授權氣體處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種氣體處理裝置，其對基板實施氣體處理，其中， 該氣體處理裝置具有： 腔室，其收容基板； 氣體供給機構，其將含氟氣體和堿性氣體獨立地供給；以及 氣體導入構件，其使自所述氣體供給機構供給來的所述含氟氣體與所述堿性氣體合流，并將所述含氟氣體與堿性氣體混合而成的混合氣體向所述腔室導入， 所述氣體導入構件的包含所述含氟氣體與所述堿性氣體的合流部位的部分由鋁類材料構成， 至少在包含所述合流部位的部分形成有樹脂涂層， 其中，所述樹脂涂層形成于所述合流部位以及供所述含氟氣體與所述堿性氣體的混合氣體流通的部分， 其中，所述氣體導入構件具有：主體，其由鋁類材料構成；第1氣體導入部和第2氣體導入部，其分別導入所述含氟氣體和所述堿性氣體；以及氣體流路，其設于所述主體的內部，具有所述合流部位，并且供所述混合氣體流通，所述樹脂涂層形成于所述主體的所述氣體流路的內表面。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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