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龍圖騰網(wǎng)獲悉艾司博國(guó)際有限公司申請(qǐng)的專利薄型傳感器芯片的扇出封裝結(jié)構(gòu)及其封裝方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114759050B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210231626.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H10F39/12；該發(fā)明授權(quán)薄型傳感器芯片的扇出封裝結(jié)構(gòu)及其封裝方法是由方立志設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-03-10向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本薄型傳感器芯片的扇出封裝結(jié)構(gòu)及其封裝方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明公開了薄型傳感器芯片的扇出封裝結(jié)構(gòu)，包括玻璃載具組、芯片級(jí)封裝和扇出型封裝，所述玻璃載具組包括晶圓級(jí)玻璃載具和薄玻璃，所述薄玻璃的底部粘附有保護(hù)膠帶，且保護(hù)膠帶的表面粘結(jié)有金屬層，本發(fā)明涉及半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域。該薄型傳感器芯片的扇出封裝結(jié)構(gòu)，通過(guò)影像傳感器用薄型的封裝，圖像信號(hào)處理器也做在薄型封裝體內(nèi)，再將兩者整合成一個(gè)封裝體，透過(guò)特殊的設(shè)計(jì)及制程方法，可以將玻璃、芯片、封裝體變薄，又有足夠的強(qiáng)度，不會(huì)造成影像變形。

本發(fā)明授權(quán)薄型傳感器芯片的扇出封裝結(jié)構(gòu)及其封裝方法在權(quán)利要求書中公布了：1.薄型傳感器芯片的扇出封裝結(jié)構(gòu)的封裝方法，其特征在于：包括以下步驟： 步驟一、扇出型封裝（2）制備：在玻璃載具上刷涂上黏膠層，然后在黏膠層上制作第一面錫銅接點(diǎn)及復(fù)數(shù)層RDL，然后在RDL最上層長(zhǎng)出銅柱，然后將圖像信號(hào)處理器黏接在上層RDL上，將芯片表面的銅凸塊朝上，然后壓模灌樹脂，再對(duì)壓模樹脂的表面進(jìn)行研磨，制作復(fù)數(shù)層RDL，在最后一層RDL接點(diǎn)處長(zhǎng)出銅凸塊，然后將玻璃載具上的黏膠層溶解，移除玻璃載具后，將封裝的芯片切成單顆，得到扇出型封裝（2）； 步驟二、芯片級(jí)封裝（1）制備：制得玻璃載具組，在影像傳感器晶圓傳感器四周的表面涂上黏膠（9），然后將影像傳感器晶圓倒裝黏在薄玻璃（4）背離晶圓級(jí)玻璃載具（3）的一面，將影像傳感器晶圓背面研磨，在影像傳感器晶圓背面制作TSV，作為芯片上下表面信號(hào)的連接，接著在影像傳感器晶圓背面制作復(fù)數(shù)層的RDL再分配層，最后在接點(diǎn)處電鍍出錫銅凸塊，得到芯片級(jí)封裝（1）； 步驟三、芯片級(jí)封裝（1）與扇出型封裝（2）整合：將扇出型封裝（2）第一面錫銅接點(diǎn)對(duì)芯片級(jí)封裝（1）的錫銅凸塊，通過(guò)焊錫（10）焊接形成電性導(dǎo)通，將扇出型封裝（2）第二面接點(diǎn)的銅凸塊朝上，壓模灌樹脂得到樹脂封裝（7），研磨壓模樹脂封裝（7）表面，直到扇出型封裝（2）第二面接點(diǎn)的銅凸塊露出及達(dá)到設(shè)計(jì)的厚度，制作復(fù)數(shù)層RDL，在最后一層RDL接點(diǎn)處長(zhǎng)出銅凸塊，在銅凸塊處植錫球（8），移除晶圓級(jí)玻璃載具（3）、保護(hù)膠帶（5）和金屬層（6），將晶圓切成單顆，完成制程。

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