北京北方華創微電子裝備有限公司楊波獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京北方華創微電子裝備有限公司申請的專利一種下射頻電源的電壓控制方法及半導體工藝設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115036202B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210748872.0，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權一種下射頻電源的電壓控制方法及半導體工藝設備是由楊波;衛晶;韋剛;陳星;宋博文;阮永豪;鐘晨玉設計研發完成，并于2022-06-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種下射頻電源的電壓控制方法及半導體工藝設備在說明書摘要公布了：本申請公開了一種下射頻電源的電壓控制方法及半導體工藝設備，預先獲取饋電至靜電卡盤的下射頻電源的電壓設定值，并根據預設電壓修正策略對電壓設定值進行修正，得到目標電壓值；獲取與靜電卡盤連接的射頻電壓傳感器輸出的第一電壓信號，并根據第一電壓信號，及表征射頻電壓傳感器的平均輸入輸出對應關系的傳感器變換系數，得到射頻電壓傳感器理論上輸入的第二電壓信號；比較目標電壓值和第二電壓信號，并根據比較結果調整下射頻電源的輸出功率，以使第二電壓信號等于目標電壓值?？梢?，本申請對下射頻電源的電壓設定值進行修正，以使下射頻電源達到穩態時，靜電卡盤上的實際電壓值等于未修正的電壓設定值，從而提高了下射頻電源的電壓控制精度。
本發明授權一種下射頻電源的電壓控制方法及半導體工藝設備在權利要求書中公布了：1.一種下射頻電源的電壓控制方法，其特征在于，包括： 預先獲取饋電至靜電卡盤的下射頻電源的電壓設定值，并根據預設電壓修正策略對所述電壓設定值進行修正，得到目標電壓值；其中，所述預設電壓修正策略的修正目的為：所述下射頻電源達到穩態時實際輸出的電壓等于所述電壓設定值； 獲取與所述靜電卡盤連接的射頻電壓傳感器輸出的第一電壓信號，并根據所述第一電壓信號，及表征所述射頻電壓傳感器的平均輸入輸出對應關系的傳感器變換系數，得到所述射頻電壓傳感器理論上輸入的第二電壓信號； 比較所述目標電壓值和所述第二電壓信號，并根據比較結果調整所述下射頻電源的輸出功率，以使所述第二電壓信號等于所述目標電壓值。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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