買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費！專利年費監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司申請的專利半導(dǎo)體工藝設(shè)備和壓力控制方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114975190B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210747418.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體工藝設(shè)備和壓力控制方法是由方洋;閆士泉;王立卡;石磊設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-06-29向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本半導(dǎo)體工藝設(shè)備和壓力控制方法在說明書摘要公布了：本申請公開一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備和壓力控制方法，屬于半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域。所公開的半導(dǎo)體工藝設(shè)備包括工藝腔室、氣液分離器、控壓閥門和輔助控壓裝置，工藝腔室的排氣口通過第一排氣管與氣液分離器的進(jìn)氣口相連通，氣液分離器的出氣口通過第二排氣管與控壓閥門相連通，控壓閥門通過壓力采集管與氣液分離器的壓力采集口相連通，控壓閥門用于初步調(diào)節(jié)排氣口處的壓力；輔助控壓裝置設(shè)置于第一排氣管，輔助控壓裝置用于二次調(diào)節(jié)排氣口處的壓力。上述方案能夠解決相關(guān)技術(shù)涉及的半導(dǎo)體工藝設(shè)備存在控壓靈敏度及精度較低的問題。

本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體工藝設(shè)備和壓力控制方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備，其特征在于，包括工藝腔室（100）、氣液分離器（200）、控壓閥門（300）和輔助控壓裝置（400），所述工藝腔室（100）的排氣口（110）通過第一排氣管（120）與所述氣液分離器（200）的進(jìn)氣口相連通，所述氣液分離器（200）的出氣口通過第二排氣管（210）與所述控壓閥門（300）相連通，所述控壓閥門（300）通過壓力采集管（310）與所述氣液分離器（200）的壓力采集口相連通，所述控壓閥門（300）用于初步調(diào)節(jié)所述排氣口（110）處的壓力； 所述輔助控壓裝置（400）設(shè)置于所述第一排氣管（120）上，所述輔助控壓裝置（400）用于二次調(diào)節(jié)所述排氣口（110）處的壓力。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道8號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。