北京航空航天大學屈玉福獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京航空航天大學申請的專利微納器件三維缺陷快速檢測裝置和方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115219504B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210834881.1，技術領域涉及：G01N21/88；該發明授權微納器件三維缺陷快速檢測裝置和方法是由屈玉福;王昊靜;彭仁舉;魏雙鳳;張湛舸;任佳俊設計研發完成，并于2022-07-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本微納器件三維缺陷快速檢測裝置和方法在說明書摘要公布了：本發明提供了一種光學量測領域的微納器件三維缺陷快速檢測裝置和方法。該裝置和方法基于通焦掃描光學顯微成像TSOM原理，具體涉及一種無機械軸向掃描的TSOM裝置和快速量測幾何尺寸、檢測缺陷的TSOM方法。該TSOM裝置利用色散物鏡與衍射光柵組合，實現光學軸向掃描代替機械軸向掃描，在提高工作速度的同時，充分利用成像系統的光通量，解決了機械掃描帶來的側向偏移和振動干擾的影響。該方法建立了TSOM裝置中成像系統的放大率、不同波長的光在探測器表面位置、以及光譜帶寬等參數與系統元件參數的關系式，可通過調整系統元件參數以滿足量測需求，保留了顯微檢測視場大的優點，工作速度快，適合在線檢測和大批量生產應用。
本發明授權微納器件三維缺陷快速檢測裝置和方法在權利要求書中公布了：1.一種微納器件三維缺陷快速檢測裝置，其特征在于： 通焦掃描光學顯微成像TSOM裝置包括： 照明模塊，利用光源和柱面鏡，產生一束條形結構的準直光，以照射色散模塊； 色散模塊，利用色散物鏡中的色散透鏡的色散功能，將不同波長的光聚焦在不同焦點位置，實現TSOM光學軸向掃描； 成像模塊，利用衍射光柵的分光功能，將光按照波長長短展開到探測器的整個成像面上，不同波長的光成像到探測器的不同列，而每一列又和色散物鏡的不同波長對應，探測器上的單張圖像包含了待測結構的聚焦與離焦信息； TSOM裝置標定模塊，利用激光測距儀進行測距，用于標定TSOM裝置； 快速采集圖像模塊，采集探測器上的圖像并進行處理，得到實際采集的TSOM圖像； 尺寸量測及缺陷檢測模塊，對實際采集的TSOM圖像進行數據處理，反演匹配得到微納器件三維幾何尺寸或缺陷。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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