華燦光電(浙江)有限公司尚玉平獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉華燦光電(浙江)有限公司申請的專利提升發(fā)光效率的發(fā)光二極管的外延片及其制備方法獲國家發(fā)明授權專利權,本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115566119B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉:該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為:202211095304.1,技術領域涉及:H10H20/818;該發(fā)明授權提升發(fā)光效率的發(fā)光二極管的外延片及其制備方法是由尚玉平;陸香花;肖云飛;梅勁設計研發(fā)完成,并于2022-09-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本提升發(fā)光效率的發(fā)光二極管的外延片及其制備方法在說明書摘要公布了:本公開提供了一種提升發(fā)光效率的發(fā)光二極管的外延片及其制備方法,屬于光電子制造技術領域。該制備方法包括:提供一襯底;在所述襯底上依次生長n型層、發(fā)光層和p型層,所述發(fā)光層包括多個層疊的有源層,每個所述有源層包括依次層疊的InGaN量子阱層、Mg金屬層、p型GaN層和GaN量子壘層,在形成所述p型GaN層之前,向反應腔內通入Mg源,對所述InGaN量子阱層進行表面處理,在所述InGaN量子阱層的表面的凹坑內形成所述Mg金屬層。本公開實施例能改善量子阱與量子壘界面處晶體質量和發(fā)光二極管的內量子效率,以提升發(fā)光效率。
本發(fā)明授權提升發(fā)光效率的發(fā)光二極管的外延片及其制備方法在權利要求書中公布了:1.一種發(fā)光二極管的外延片的制備方法,其特征在于,所述制備方法包括: 提供一襯底; 在所述襯底上依次生長n型層、發(fā)光層和p型層,所述發(fā)光層包括多個層疊的有源層,每個所述有源層包括依次層疊的InGaN量子阱層、Mg金屬層、p型GaN層和GaN量子壘層,在形成所述p型GaN層之前,向反應腔內通入Mg源,對所述InGaN量子阱層進行表面處理,在所述InGaN量子阱層的表面的凹坑內形成所述Mg金屬層,利用Mg偏向于在化學活性較強的位錯中心附近富集的特點,通入Mg源處理后,處理過程中Mg偏向于在V型坑的位置處聚集,使所述InGaN量子阱層表面恢復平整;利用所述p型GaN層產生的空穴將壓電極化負電荷中和,降低極化電荷密度。
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