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龍圖騰網(wǎng)獲悉上海矽睿科技股份有限公司申請的專利一種三軸磁傳感器及其制備工藝獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115425141B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202211156554.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H10N50/80；該發(fā)明授權(quán)一種三軸磁傳感器及其制備工藝是由郭慧芳;肖勇設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-09-22向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種三軸磁傳感器及其制備工藝在說明書摘要公布了：本發(fā)明揭示了一種三軸磁傳感器及其制備工藝，所述三軸磁傳感器包括形成有至少兩個溝槽的襯底、第一磁感測機構(gòu)、第二磁感測機構(gòu)及第三磁感測機構(gòu)；第一磁感測機構(gòu)用以感測第一方向的磁場；第二磁感測機構(gòu)用以感測第二方向的磁場；第三磁感測機構(gòu)用以感測第三方向的磁場；第一磁感測機構(gòu)和第二磁感測機構(gòu)設(shè)置在襯底的表面，第三磁感測機構(gòu)設(shè)置在溝槽內(nèi)；通過至少一個第一磁感測機構(gòu)和或至少一個第二磁感測機構(gòu)將至少一對相鄰的溝槽間隔開。本發(fā)明可降低工藝加工誤差，提高工藝窗口，改善產(chǎn)品的整體良率。

本發(fā)明授權(quán)一種三軸磁傳感器及其制備工藝在權(quán)利要求書中公布了：1.一種三軸磁傳感器，其特征在于，所述三軸磁傳感器包括： 襯底，所述襯底的表面部分凹陷形成至少兩個溝槽； 至少一個第一磁感測機構(gòu)，用以感測第一方向的磁場； 至少一個第二磁感測機構(gòu)，用以感測第二方向的磁場；以及 至少兩個第三磁感測機構(gòu)，用以感測第三方向的磁場； 所述第一方向與所述第二方向能形成一平面，且所述平面對應(yīng)所述襯底的表面，所述第三方向與所述襯底的表面相交；各所述溝槽均沿所述第一方向排布設(shè)置，或均沿所述第二方向排布設(shè)置，或者部分沿所述第一方向排布設(shè)置，部分沿所述第二方向排布設(shè)置；所述第一磁感測機構(gòu)、所述第二磁感測機構(gòu)均設(shè)置在所述襯底的表面上，所述第三磁感測機構(gòu)設(shè)置在所述溝槽內(nèi)，且各所述第三磁感測機構(gòu)與各所述溝槽一一對應(yīng)；沿所述第一方向排布設(shè)置的所述溝槽中至少有一對相鄰的所述溝槽被至少一個所述第一磁感測機構(gòu)間隔開，和或沿所述第二方向排布設(shè)置的所述溝槽中至少有一對相鄰的所述溝槽被至少一個所述第二磁感測機構(gòu)間隔開； 所述第一磁感測機構(gòu)包括至少一根第一磁阻條，各所述第一磁阻條沿所述第二方向延伸設(shè)置；所述第二磁感測機構(gòu)包括至少一根第二磁阻條，各所述第二磁阻條沿所述第一方向延伸設(shè)置；所述第三磁感測機構(gòu)包括至少一根第三磁阻條，各所述第三磁阻條設(shè)置于對應(yīng)溝槽的側(cè)壁；各所述第三磁阻條中，均沿所述第一方向延伸設(shè)置，或均沿所述第二方向延伸設(shè)置，或者部分沿所述第一方向延伸設(shè)置、部分沿所述第二方向延伸設(shè)置； 相鄰設(shè)置的所述第一磁阻條與所述第三磁阻條之間設(shè)有不接入惠斯通電橋的偽磁阻條，和或相鄰設(shè)置的所述第二磁阻條與所述第三磁阻條之間設(shè)有不接入惠斯通電橋的偽磁阻條。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人上海矽睿科技股份有限公司，其通訊地址為：200050 上海市長寧區(qū)定西路1328號3樓307室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。