常州大學夏新棟獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉常州大學申請的專利一種晶圓檢測臺的探針位置控制方法、裝置及系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116500402B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310234864.9，技術領域涉及：G01R31/26；該發明授權一種晶圓檢測臺的探針位置控制方法、裝置及系統是由夏新棟;沈紹博;蘭昊;湯芷涵;黃怡;黃振濤;楊長春;楊彪設計研發完成，并于2023-03-13向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓檢測臺的探針位置控制方法、裝置及系統在說明書摘要公布了：本發明涉及一種晶圓檢測臺的探針位置控制方法、裝置及系統，方法包括：連續測量探針的位置信息，以預設的時間間隔對位置信息進行采樣，得到采樣信號，每得到一個新的采樣信號，執行一次控制信號獲取步驟；控制信號獲取步驟包括：S1，將新的采樣信號經過零階保持器保持，得到采樣數據xk；S2，將xk輸入離散連續觀測器，得到連續的估計位置信號x；S3，將x和探針期望位置信號r輸入位置跟蹤控制器，得到位置跟蹤控制信號u；S4，將x和u作為擾動補償器的輸入，得到擾動補償控制信號w；S5，將u和w相加，作為探針位置的控制輸入信號。本發明能克服模型不確定性和外界干擾等因素的影響，提高探針運動位置的控制精度，且只需要用到探針位置的采樣信號，更方便于工程應用。
本發明授權一種晶圓檢測臺的探針位置控制方法、裝置及系統在權利要求書中公布了：1.一種晶圓檢測臺的探針位置控制方法，其特征在于， 包括： 連續測量晶圓測試臺上的探針的位置信息，以預設的時間間隔對所述位置信息進行采樣，得到采樣信號，每得到一個新的采樣信號，執行一次控制信號獲取步驟；所述控制信號獲取步驟包括： S1，將新的采樣信號經過零階保持器保持，得到采樣數據xk； S2，將采樣數據xk輸入離散連續觀測器，得到連續的估計位置信號x； S3，將估計位置信號x和預設的探針期望位置信號r輸入位置跟蹤控制器，得到位置跟蹤控制信號u； S4，將估計位置信號x和位置跟蹤控制信號u作為擾動補償器的輸入，得到擾動補償控制信號w； S5，將位置跟蹤控制信號u和擾動補償控制信號w相加，作為探針位置的控制輸入信號，實現對探針運動位置的控制。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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