無錫市恒利弘實業有限公司梁振獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉無錫市恒利弘實業有限公司申請的專利一種碳化硅基材拋光方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116657231B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310608067.2,技術領域涉及:C25F3/16;該發明授權一種碳化硅基材拋光方法是由梁振設計研發完成,并于2023-05-26向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種碳化硅基材拋光方法在說明書摘要公布了:本發明提供了一種碳化硅基材拋光方法,采用電化學+化學機械拋光處理碳化硅表面,通過陽極電化學氧化和陰極活性氧氧化,有效的提高碳化硅表面的氧化層程度,進行提高碳化硅的拋光效果。
本發明授權一種碳化硅基材拋光方法在權利要求書中公布了:1.一種碳化硅基材電化學機械拋光方法,其特征在于包括如下步驟: (1)碳化硅基材表面預處理; (2)以碳化硅為工作電極,石墨材料為對電極,置于電解拋光液中,進行電解拋光反應; (3)氮氣吹掃干燥處理; 其中所述電解拋光液包括如下成分: 20-30wt%20-40nm氧化鋁研磨介質; 5-7wt.%Na2SO4; 0.2-0.3wt.%聚氧丙烯甘油醚; 0.1-0.2wt.%α-烯基磺酸鹽; 2-3wt%丙二醇; 去離子水; 氧氣通入量0.2-0.3m3h; 電解拋光電源為雙向脈沖電源。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人無錫市恒利弘實業有限公司,其通訊地址為:214000 江蘇省無錫市新吳區碩放工業園;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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