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龍圖騰網(wǎng)獲悉杭州盾源聚芯半導體科技有限公司申請的專利一種用于C型多孔結(jié)構(gòu)硅產(chǎn)品的刻蝕治具及刻蝕機構(gòu)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN116779476B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202310616910.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)一種用于C型多孔結(jié)構(gòu)硅產(chǎn)品的刻蝕治具及刻蝕機構(gòu)是由馬一鳴;祝建敏;周波;林霜;密思設(shè)計研發(fā)完成，并于2023-05-29向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種用于C型多孔結(jié)構(gòu)硅產(chǎn)品的刻蝕治具及刻蝕機構(gòu)在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及硅產(chǎn)品治具技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于C型多孔結(jié)構(gòu)硅產(chǎn)品的刻蝕治具，包括相對設(shè)置的兩轉(zhuǎn)盤，兩轉(zhuǎn)盤之間設(shè)有四根固定桿，其中四根固定桿兩兩相對設(shè)置，其中一組處于相對側(cè)的兩固定桿之間的連線與另一組處于相對側(cè)的兩固定桿之間的連線交叉設(shè)置；每個所述固定桿的內(nèi)側(cè)壁上均設(shè)有用于供產(chǎn)品卡入的卡槽，其中4個卡槽分布在同一斜面上，其中所述斜面相對于豎直面以角度α1傾斜，所述α1為30°?60°；在刻蝕結(jié)束后，只要使治具繼續(xù)保持轉(zhuǎn)動，便可使得產(chǎn)品的外側(cè)壁和內(nèi)側(cè)壁交替傾斜朝下，如此當外側(cè)壁轉(zhuǎn)動至傾斜朝下位置時，產(chǎn)品內(nèi)部積存的酸液便可從外側(cè)壁上的孔洞流出，避免產(chǎn)品內(nèi)部酸液積存過多造成內(nèi)部過度刻蝕的問題。

本發(fā)明授權(quán)一種用于C型多孔結(jié)構(gòu)硅產(chǎn)品的刻蝕治具及刻蝕機構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于C型多孔結(jié)構(gòu)硅產(chǎn)品的刻蝕治具，其特征在于，所述產(chǎn)品呈圓環(huán)狀結(jié)構(gòu)，其包括處于相對側(cè)的內(nèi)側(cè)壁和外側(cè)壁，以及設(shè)于內(nèi)側(cè)壁和外側(cè)壁之間的周壁，其中內(nèi)側(cè)壁、外側(cè)壁和周壁三者合圍形成截面呈C形的C形槽結(jié)構(gòu)，所述外側(cè)壁上沿周向均勻開設(shè)有若干孔；內(nèi)側(cè)壁和外側(cè)壁與周壁銜接處形成圓周棱邊； 所述治具包括相對設(shè)置的兩轉(zhuǎn)盤，兩轉(zhuǎn)盤之間設(shè)有四根固定桿，其中四根固定桿兩兩相對設(shè)置，其中一組處于相對側(cè)的兩固定桿之間的連線與另一組處于相對側(cè)的兩固定桿之間的連線交叉設(shè)置；每個所述固定桿的內(nèi)側(cè)壁上均設(shè)有用于供產(chǎn)品卡入的卡槽，其中4個卡槽分布在同一斜面上，其中所述斜面相對于豎直面以角度α1傾斜，所述α1為30°-60°; 在刻蝕結(jié)束后，將治具從刻蝕槽中拉出后，使治具繼續(xù)保持轉(zhuǎn)動，使得產(chǎn)品的外側(cè)壁和內(nèi)側(cè)壁交替傾斜朝下，當外側(cè)壁轉(zhuǎn)動至傾斜朝下位置時，產(chǎn)品內(nèi)部積存的酸液便可從外側(cè)壁上的孔流出； 四根固定桿分別為沿豎向相對設(shè)置的兩第一固定桿，以及沿橫向相對設(shè)置的兩第二固定桿；位于第一固定桿上的卡槽構(gòu)成第一卡槽，位于第二固定桿上的卡槽構(gòu)成第二卡槽； 當產(chǎn)品安裝于四根固定桿上的卡槽內(nèi)時，通過卡槽的槽壁與產(chǎn)品的棱邊相抵靠以實現(xiàn)對產(chǎn)品的裝載； 4個所述卡槽共同構(gòu)成裝載產(chǎn)品的卡槽組，當產(chǎn)品裝載至卡槽組時，所述產(chǎn)品與卡槽組間隙配合，順著斜面方向，兩第一卡槽之間距離要保證產(chǎn)品在卡入兩第一卡槽內(nèi)后，產(chǎn)品能夠在一定范圍內(nèi)沿自身徑向進行移動；兩第二卡槽之間的間距也要保證產(chǎn)品在卡入兩第二卡槽內(nèi)后，產(chǎn)品同樣能夠在一定范圍內(nèi)沿自身徑向移動。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人杭州盾源聚芯半導體科技有限公司，其通訊地址為：310051 浙江省杭州市濱江區(qū)濱康路668號C幢；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。