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龍圖騰網(wǎng)獲悉西南交通大學(xué)申請的專利一種可穿戴柔性近紅外透明超聲換能器及其制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN117066083B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202310910598.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B06B1/02；該發(fā)明授權(quán)一種可穿戴柔性近紅外透明超聲換能器及其制備方法是由何慶;李娜設(shè)計研發(fā)完成，并于2023-07-24向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種可穿戴柔性近紅外透明超聲換能器及其制備方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種可穿戴柔性近紅外透明超聲換能器及其制備方法，包括：PDMS柔性基板、多個微型剛性CMUT元件、蛇形銀納米線電極和與外部連接的電極，多個微型剛性CMUT元件并聯(lián)設(shè)置，基于銀納米線電極相互連接組成蛇形互連線路，微型剛性CMUT元件、蛇形銀納米線電極和與外部連接的電極共同封裝于PDMS柔性基板中?？纱┐魅嵝越t外透明超聲換能器允許近紅外激光束穿透，能有效實現(xiàn)光源與超聲換能器的集成。

本發(fā)明授權(quán)一種可穿戴柔性近紅外透明超聲換能器及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種可穿戴柔性近紅外透明超聲換能器的制備方法，其特征在于，用于制備可穿戴柔性近紅外透明超聲換能器，該超聲換能器包括： PDMS柔性基板、多個微型剛性CMUT元件、蛇形銀納米線電極和與外部連接的電極，多個微型剛性CMUT元件并聯(lián)設(shè)置，基于銀納米線電極相互連接組成蛇形互連線路，微型剛性CMUT元件、蛇形銀納米線電極和與外部連接的電極共同封裝于PDMS柔性基板中；包括以下步驟： 蛇形銀納米線電極的制造：將銀納米線與銀片油墨混合，然后將混合的銀納米線銀復(fù)合油墨使用絲網(wǎng)印刷機在室溫下基于PDMS柔性基板上進行絲網(wǎng)印刷； CMUT剛性元件的制造：采用粘合劑晶圓鍵合工藝制備CMUT，采用苯丙環(huán)丁烯作為CMUT的粘合劑和側(cè)壁層； 所述CMUT剛性元件的制造：采用粘合劑晶圓鍵合工藝制備CMUT，采用苯丙環(huán)丁烯作為CMUT的粘合劑和側(cè)壁層，包括： 準(zhǔn)備兩個晶圓，一個含有氮化硅的硅晶圓一和一個硅基底晶圓二；將晶圓片均置于過氧化氫和濃硫酸混合液中進行氧化溶解，清洗金屬雜質(zhì)； 在氮化硅晶圓一上使用低壓化學(xué)氣相沉積工藝沉積氮化硅層，以構(gòu)建低應(yīng)力的振動膜； 在硅基底晶圓二上通過濺射250-260nm的透明導(dǎo)電材料氧化銦錫層，形成ITO底部電極；然后在氫氧化銨、過氧化氫和去離子水的混合溶液中清洗，去除有機污染物； 將一層AP3000粘合劑分別在硅基底晶圓一和硅基底晶圓二上以3000-3200rpm的速度旋轉(zhuǎn)涂覆25-40秒，然后在140-160℃下軟烘烤50-70秒； 將BCB以6500-7000rpm的速度在硅基底晶圓二上旋轉(zhuǎn)涂覆40-60秒鐘，在50-70℃下軟烘烤90-100秒，其中，BCB層暴露在紫外線下，后在40-60℃下烘烤固化； 使用DS2100顯影劑沖洗后旋轉(zhuǎn)干燥，以定義空腔； 利用晶圓鍵合機通過粘合劑將氮化硅晶圓一和硅基底晶圓二粘合； 在氮化硅振動膜上濺射200-210nm的透明導(dǎo)電材料ITO層作為頂部電極，然后利用正性光刻膠和濕法蝕刻對頂部ITO層圖案化，以定義CMUT元件的頂部電極；使用切割工具在預(yù)定義的水平和垂直方向上切割晶圓，將晶圓切割成帶有單獨CMUT元件的芯片島，在晶圓背面迅速旋轉(zhuǎn)涂覆PDMS柔性層并固化； 將蛇形銀納米線互連電極和CMUT陣列同時封裝于PDMS柔性基底中，形成柔性近紅外透明CMUT陣列。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人西南交通大學(xué)，其通訊地址為：610000 四川省成都市二環(huán)路北一段；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。