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龍圖騰網(wǎng)獲悉鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司申請(qǐng)的專利一種多層超硬材料倒角砂輪及其制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN117001555B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202311041652.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B24D5/04；該發(fā)明授權(quán)一種多層超硬材料倒角砂輪及其制備方法是由李國偉;于鴻飛;張毅;陳曉強(qiáng)設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-08-18向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種多層超硬材料倒角砂輪及其制備方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開一種多層超硬材料倒角砂輪及其制備方法，屬于超硬材料砂輪技術(shù)領(lǐng)域，所述超硬材料倒角砂輪外圓至基體從外向內(nèi)分布有三層結(jié)構(gòu)：磨削層含有磨料進(jìn)行襯底晶片磨削加工；增強(qiáng)層用于組成核心骨架把持磨削層和緩沖層，具有較高的抗折強(qiáng)度和拉伸強(qiáng)度，防止磨削層大塊碎裂及脫落；緩沖層用于形成網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)串聯(lián)磨削層和增強(qiáng)層，具有一定彈性，可降低工件磨削中磨削力沖擊；本發(fā)明的砂輪結(jié)構(gòu)簡單，操作簡便；可對(duì)半導(dǎo)體襯底晶片進(jìn)行低損傷加工，降低超硬材料倒角砂輪和半導(dǎo)體襯底晶片接觸時(shí)的剛性，加工效果好，被加工后襯底晶片損傷層崩口尺寸可以達(dá)到0.02mm以內(nèi)。

本發(fā)明授權(quán)一種多層超硬材料倒角砂輪及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種多層超硬材料倒角砂輪的制備方法，其特征在于，所述多層超硬材料倒角砂輪，包括基體和砂輪層，所述砂輪層從外向內(nèi)包括磨削層、增強(qiáng)層和緩沖層，從外向內(nèi)各層環(huán)寬的范圍為：磨削層3~6mm，增強(qiáng)層1~2mm，緩沖層0.3~0.6mm， 所述增強(qiáng)層由以下重量份的原料組成：氧化鋁50-60份，銅粉30-40份，氧化銅4-6份，氧化鈦4-6份，所述緩沖層由以下體積份的原料組成：環(huán)氧樹脂80-90份，錫粉5-15份，碳化硅3-5份； 包括如下步驟： 1）按比例取氧化銅、氧化鈦和氧化鋁，加入到混料罐內(nèi)，充入保護(hù)氣體并密封，混料均勻； 2）將步驟1）所得的混合料燒結(jié)，升溫至1000-1200℃并保溫8-12h得到氧化鋁陶瓷料； 3）將步驟2）氧化鋁陶瓷料敲碎，加入氧化鋯球，裝入球磨罐中進(jìn)行球磨，球磨轉(zhuǎn)速為300-350rmin；球磨時(shí)間為4-8h，球磨后即得到氧化鋁陶瓷粉； 4）將步驟3）所得的氧化鋁陶瓷粉過組合篩網(wǎng)，取粉末粒度在20μm-30μm范圍內(nèi)的氧化鋁陶瓷粉末； 5）向步驟4）所得過篩后氧化鋁陶瓷粉末加入銅粉，轉(zhuǎn)入到混料罐內(nèi)，充入保護(hù)氣體并密封，混料均勻得到混合料； 6）將步驟5）所得的混合料裝模，壓制至增強(qiáng)層需要的尺寸，得到增強(qiáng)層冷壓毛坯環(huán)； 7）將步驟6）所得的毛坯環(huán)在氮?dú)夥諊聼Y(jié)，升溫至900-1100℃并保溫2-4h，得到增強(qiáng)層燒結(jié)環(huán)； 8）取環(huán)氧樹脂、錫粉和碳化硅，加入到混料罐內(nèi)充入保護(hù)氣體并密封，混料均勻得到復(fù)合混合料，其中保護(hù)氣體為氮?dú)猓?9）取磨削層原料，加入到充滿保護(hù)氣體的混料罐內(nèi)并密封，混料均勻； 10）將步驟7）所得的增強(qiáng)層燒結(jié)環(huán)裝入需要的模具，在增強(qiáng)層內(nèi)側(cè)投入步驟8）所得的復(fù)合混合料，進(jìn)行一次壓制，在增強(qiáng)層外側(cè)投入步驟9）的磨削層混合料，壓制得到坯料； 11）將步驟10坯料燒結(jié)，充入氫氣作為保護(hù)氣，升溫至400-500℃并保溫1-2h，保溫結(jié)束后即得砂輪各層；將砂輪各層粘接在砂輪基體上，即得砂輪毛坯；將砂輪毛坯按照要求加工到需要的尺寸精度，制備砂輪半成品；將砂輪半成品進(jìn)行檢驗(yàn)并做動(dòng)平衡，達(dá)到精度要求后即為多層超硬材料倒角砂輪。

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