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龍圖騰網獲悉北京晶亦精微科技股份有限公司申請的專利一種晶圓加載狀態檢測裝置及拋光裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN117381656B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202311596860.1，技術領域涉及：B24B37/10；該發明授權一種晶圓加載狀態檢測裝置及拋光裝置是由劉宜霖;尹影;龐浩;樊成攀設計研發完成，并于2023-11-27向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓加載狀態檢測裝置及拋光裝置在說明書摘要公布了：本發明涉及集成電路芯片制造領域，公開了一種晶圓加載狀態檢測裝置及拋光裝置，晶圓加載狀態檢測裝置包括：依次連接的控制系統、自電容觸摸傳感器、彈性裝置及絕緣觸摸板；絕緣觸摸板的另一端與氣囊的第一表面接觸，氣囊的第二表面用于加載晶圓；當晶圓未加載在氣囊的第二表面或晶圓加載狀態異常時，氣囊的第一表面基于氣壓向絕緣觸摸板的第二表面的方向凸起，推動絕緣觸摸板，當自電容觸摸傳感器判斷絕緣觸摸板與自電容觸摸傳感器發生觸摸時向控制系統發送加載狀態異常信號。本發明通過判斷自電容觸摸傳感器是否與絕緣觸摸板接觸，從而判斷晶圓的加載狀態，該檢測方法受裝置氣密性及精度影響小，檢測結果準確率高。

本發明授權一種晶圓加載狀態檢測裝置及拋光裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶圓加載狀態檢測裝置，其特征在于，包括：自電容觸摸傳感器、彈性裝置及絕緣觸摸板，其中， 自電容觸摸傳感器，其第一表面與控制系統的輸入端連接，其第二表面與所述彈性裝置的第一端連接； 彈性裝置，其第二端與所述絕緣觸摸板的第一表面連接； 絕緣觸摸板，其第二表面與氣囊的第一表面接觸； 氣囊，其第二表面用于加載晶圓，通過將氣囊抽真空后，使得所述晶圓加載在氣囊的第二表面上； 當所述晶圓未加載在所述氣囊的第二表面或所述晶圓加載狀態異常時，所述氣囊的第一表面基于氣壓向所述絕緣觸摸板的第二表面的方向凸起，推動所述絕緣觸摸板使所述彈性裝置收縮后，所述絕緣觸摸板的第一表面與所述自電容觸摸傳感器的第二表面接觸，所述自電容觸摸傳感器判斷所述絕緣觸摸板與所述自電容觸摸傳感器發生觸摸，并向所述控制系統發送加載狀態異常信號； 所述自電容觸摸傳感器包括：電容振蕩模塊、比較模塊及輸出模塊，其中， 電容振蕩模塊，其輸入端與外接電源連接，其輸出端與所述比較模塊的輸入端連接，其第一端為所述自電容觸摸傳感器的第二表面，其基于外接電源的電壓及電流，通過其內部的采樣電容采集電路中的電信號并輸出采樣電容振蕩頻率、通過其內部的觸摸電容輸出觸摸電容振蕩頻率，所述觸摸電容基于所述絕緣觸摸板與所述電容振蕩模塊的第一端的接觸狀態改變自身容值后，所述電容振蕩模塊調整所述觸摸電容振蕩頻率的大小； 比較模塊，其輸出端與所述輸出模塊的輸入端連接，其用于計算所述采樣電容振蕩頻率與所述觸摸電容振蕩頻率的頻率比值后，將所述頻率比值與預設值進行比對； 輸出模塊，其輸出端與所述控制系統的輸入端連接； 當所述晶圓正常加載在所述氣囊的第二表面時，所述絕緣觸摸板不與所述電容振蕩模塊的第一端接觸，所述電容振蕩模塊的觸摸電容的容值不變，當所述比較模塊判斷所述頻率比值等于預設值時，所述輸出模塊向所述控制系統輸出加載狀態正常信號； 當晶圓未加載在氣囊的第二表面或加載狀態異常時，所述絕緣觸摸板與所述電容振蕩模塊的第一端接觸，所述電容振蕩模塊的觸摸電容的容值升高，當所述比較模塊判斷所述頻率比值不等于預設值時，所述輸出模塊向所述控制系統輸出加載狀態異常信號； 所述自電容觸摸傳感器，還包括： 觸摸電極，其第一表面與所述自電容觸摸傳感器的第二表面連接，其第二表面與所述彈性裝置的第一端連接，所述電容振蕩模塊基于所述絕緣觸摸板與所述觸摸電極的接觸狀態改變觸摸電容的容值后，調整所述觸摸電容振蕩頻率的大小，維持所述采樣電容振蕩頻率的大小不變； 所述電容振蕩模塊包括：采樣電容振蕩模塊及觸摸電容振蕩模塊，其中， 采樣電容振蕩模塊，其輸入端與外接電源連接，其輸出端與所述比較模塊的輸入端連接，其基于外接電源的電壓及電流輸出采樣電容振蕩頻率； 觸摸電容振蕩模塊，其輸入端與外接電源連接，其輸出端與所述比較模塊的輸入端連接，其第一端與所述觸摸電極的第一表面連接，其基于外接電源的電壓及外接電源電流輸出觸摸電容振蕩頻率，其基于所述絕緣觸摸板與所述觸摸電極的接觸狀態改變容值后，調整所述觸摸電容振蕩頻率的大小； 所述比較模塊計算獲得所述采樣電容振蕩頻率與所述觸摸電容振蕩頻率的頻率比值后，將所述比值與所述預設值進行比對； 當所述比較模塊判斷所述頻率比值等于所述預設值時，所述輸出模塊向所述控制系統輸出加載狀態正常信號； 當所述比較模塊判斷所述頻率比值不等于所述預設值時，所述輸出模塊向所述控制系統輸出加載狀態異常信號。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京晶亦精微科技股份有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區經濟技術開發區泰河三街1號2幢2層101；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。