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龍圖騰網(wǎng)獲悉上歐科技(湖州)有限公司;蘇州波渺微測科技有限公司申請的專利一種晶圓片光刻膠圖像獲取裝置及缺陷檢測方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN118010748B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202410042813.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N21/95；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓片光刻膠圖像獲取裝置及缺陷檢測方法是由李青巖;高涵;劉進;陳飛躍;顧溢杰;龔海;陳俊秀設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-01-11向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種晶圓片光刻膠圖像獲取裝置及缺陷檢測方法在說明書摘要公布了：一種晶圓片光刻膠圖像獲取裝置及缺陷檢測方法，涉及半導(dǎo)體集成電路制造領(lǐng)域。本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有晶圓片光刻膠缺陷檢測方法還存在無法實現(xiàn)自動化檢測且檢測精準(zhǔn)性低的問題。本發(fā)明包括：利用高亮、高均勻性大尺寸面光源設(shè)計晶圓片光刻膠缺陷圖像采集裝置，利用環(huán)形光和面光源形成明暗場照明，獲取晶圓片圖像；對晶圓片圖像進行改進后的傅里葉濾波，獲得增強后的晶圓片圖像；對增強后的晶圓片圖像通過飛蛾撲火方法優(yōu)化Otsu算法進行二值化，獲得二值化后的晶圓片圖像；利用PLIP模型優(yōu)化sobel算子獲得二值化后的晶圓片圖像中像素梯度值；并計算晶圓片圖像中邊緣亞梯度值，并利用邊緣檢測函數(shù)獲取晶圓片圖像中缺陷輪廓。本發(fā)明用于檢測晶圓片光刻膠缺陷。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓片光刻膠圖像獲取裝置及缺陷檢測方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓片光刻膠缺陷檢測方法，其特征在于所述方法具體過程為： 步驟一、利用晶圓片光刻膠缺陷圖像采集裝置，獲取晶圓片圖像f1x1,y1： f1x1,y1＝i1x1,y1×r1x1,y11 其中，x1,y1為晶圓片圖像中的像素點坐標(biāo)，i1x1,y1為入射向量，r1x1,y1為反射向量； 步驟二、對晶圓片圖像f1x1,y1進行濾波，獲得增強后的晶圓片圖像； 步驟三、對增強后的晶圓片圖像進行自適應(yīng)閾值二值化，獲得二值化后的晶圓片圖像，具體為： 步驟三一、對增強后的晶圓片圖像灰度閾值進行剪枝，并獲得剪枝后的晶圓片圖像灰度閾值集合： 設(shè)置灰度閾值集合[t1,t2,…,tm1]，采用最大類間方差法在灰度閾值集合中進行搜索，獲得像素數(shù)n1k2i2≠0的灰度閾值集合K＝{K0,K1,…,Kk2}，即剪枝后的晶圓片圖像灰度閾值集合； 其中，k2+1是灰度閾值集合K中的元素總數(shù)； 步驟三二、將剪枝后的晶圓片圖像灰度閾值集合作為飛蛾，構(gòu)建飛蛾種群 利用火焰記錄目標(biāo)飛蛾的最佳位置，火焰集合為 采用飛蛾撲火算法更新飛蛾位置，從而獲得最佳飛蛾種群K’1； 其中，n2是種群數(shù)量，d是變量維度，是第n2個飛蛾種群，是第n2個火焰，最佳閾值t1為權(quán)重最大的飛蛾； 飛蛾通過以下方式更新位置： 其中，D1i為第i3個飛蛾的位置與第j’1個火焰的位置之間的距離，b4為與螺旋形狀相關(guān)的常量，t2*為隨機數(shù)，取值區(qū)間為[-1,1]，i3∈[1,n2]，K1i3是第i3個飛蛾的位置，i3∈[1,n2]，ξ是權(quán)重因子，是第j’1個火焰的位置，ξmin為最小權(quán)重，取值范圍為[0.3,0.4]，ξmax為最大權(quán)重，取值范圍為[0.5,0.7]，k3為權(quán)重參數(shù)，i4當(dāng)前飛蛾根據(jù)適應(yīng)度值排序后的次序，NP為所有飛蛾的數(shù)目，T2為最大迭代次數(shù)，t3'為當(dāng)前迭代次數(shù)； 火焰數(shù)量通過以下方式更新： 其中，firenunber為火焰的數(shù)量，N2為最大火焰數(shù)量，round為四舍五入函數(shù)； 步驟三三、基于類間方差法利用最佳飛蛾種群K’1，獲得真實最佳灰度閾值，從而獲得二值化后的圖像； 步驟四、基于參數(shù)化對數(shù)圖像處理模型PLIP模型的八方向Sobel梯度算子獲得二值化后的晶圓片圖像中邊緣像素梯度值； 步驟五、基于改進的非極大值抑制方法利用晶圓片圖像中邊緣梯度值獲取晶圓片圖像中缺陷輪廓。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人上歐科技(湖州)有限公司;蘇州波渺微測科技有限公司，其通訊地址為：313098 浙江省湖州市紅豐路1366號6幢9層988-33室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。