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龍圖騰網(wǎng)獲悉楚赟精工科技(上海)有限公司申請的專利半導(dǎo)體設(shè)備的加熱控制方法和加熱控制系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN118726954B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202410722351.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/52；該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體設(shè)備的加熱控制方法和加熱控制系統(tǒng)是由左志耀;馬法君;金雋設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-06-05向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本半導(dǎo)體設(shè)備的加熱控制方法和加熱控制系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體設(shè)備的加熱控制方法及控制系統(tǒng)，本發(fā)明的加熱控制方法中，通過步驟Si得到第一加熱區(qū)和第二加熱區(qū)各自的第i最佳升溫功率以進(jìn)行第i升溫過程，并且步驟Si+n根據(jù)目標(biāo)溫度相關(guān)參數(shù)，步驟Si中的預(yù)測溫度相關(guān)參數(shù)，以及第一加熱區(qū)和第二加熱區(qū)各自的系統(tǒng)延遲修正值進(jìn)行預(yù)測計(jì)算，使得下一步驟對最佳升溫功率的預(yù)測均基于上一步驟所預(yù)測得到的預(yù)測溫度相關(guān)參數(shù)，相比于基于上一步驟的實(shí)時(shí)溫度相關(guān)參數(shù)對最佳升溫功率進(jìn)行預(yù)測，顯著縮短了溫度控制的平衡時(shí)間，且步驟Si+n的預(yù)測計(jì)算引入了步驟Si得到的各加熱區(qū)的系統(tǒng)延遲修正值，減輕或避免Si+n執(zhí)行過程中因系統(tǒng)響應(yīng)延遲造成的溫度穩(wěn)定時(shí)間長且不穩(wěn)定的問題。

本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體設(shè)備的加熱控制方法和加熱控制系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體設(shè)備的加熱控制方法，其特征在于：所述半導(dǎo)體設(shè)備包括加熱裝置及被加熱裝置，所述加熱裝置為相鄰的第一加熱區(qū)和第二加熱區(qū)，所述第一加熱區(qū)和所述第二加熱區(qū)發(fā)熱以分別向所述被加熱裝置的相鄰第一受熱區(qū)和第二受熱區(qū)傳熱，所述加熱控制方法包括以下步驟： S0：獲取目標(biāo)溫度Tset以及與所述目標(biāo)溫度Tset對應(yīng)的目標(biāo)功率Pset，通過控制所述加熱裝置使所述第一加熱區(qū)和所述第二加熱區(qū)發(fā)熱； Si：對第i調(diào)溫過程進(jìn)行第i預(yù)測計(jì)算：根據(jù)所述目標(biāo)溫度Tset、所述目標(biāo)功率Pset，以及獲取到的所述第一受熱區(qū)的當(dāng)前溫度Ta0和對應(yīng)的當(dāng)前功率Pa0進(jìn)行計(jì)算，得到所述第一加熱區(qū)所對應(yīng)的第i代價(jià)函數(shù)Cai，然后對第i代價(jià)函數(shù)Cai進(jìn)行最小化得到所述第一加熱區(qū)的第i最佳調(diào)溫功率Popt-ai；據(jù)所述目標(biāo)溫度Tset、所述目標(biāo)功率Pset，以及所述第二受熱區(qū)的當(dāng)前溫度Tb0和對應(yīng)的當(dāng)前功率Pb0進(jìn)行計(jì)算，得到所述第二加熱區(qū)所對應(yīng)的第i代價(jià)函數(shù)Cbi，然后對第i代價(jià)函數(shù)Cbi進(jìn)行最小化得到所述第二加熱區(qū)的第i最佳調(diào)溫功率Popt-bi；根據(jù)所述第一受熱區(qū)的所述當(dāng)前溫度Ta0和所述當(dāng)前功率Pa0，以及所述第二受熱區(qū)的當(dāng)前溫度Tb0進(jìn)行計(jì)算，得到所述第一受熱區(qū)的第i預(yù)測溫度Tai和對應(yīng)的第i預(yù)測功率Pai；根據(jù)所述第二受熱區(qū)的當(dāng)前溫度Tb0和所述當(dāng)前功率Pb0，以及所述第一受熱區(qū)的當(dāng)前溫度Ta0進(jìn)行計(jì)算，得到所述第二受熱區(qū)的第i預(yù)測溫度Tbi和對應(yīng)的第i預(yù)測功率Pbi； 控制所述第一加熱區(qū)和所述第二加熱區(qū)分別以各自的第i最佳調(diào)溫功率進(jìn)行所述第i調(diào)溫過程； 獲取并根據(jù)與所述第一加熱區(qū)和所述第二加熱區(qū)各自的第i最佳調(diào)溫功率對應(yīng)的控制指令的發(fā)出時(shí)間、以及所述第一受熱區(qū)和所述第二受熱區(qū)各自的實(shí)時(shí)溫度與時(shí)間對應(yīng)關(guān)系進(jìn)行修正計(jì)算，得到所述第一加熱區(qū)和所述第二加熱區(qū)各自的系統(tǒng)延遲修正值； Si+n：對第（i+n）調(diào)溫過程進(jìn)行第（i+n）預(yù)測計(jì)算：根據(jù)所述目標(biāo)溫度Tset、所述目標(biāo)功率Pset、所述第一受熱區(qū)的所述第i預(yù)測溫度Tai和所述第i預(yù)測功率Pai進(jìn)行計(jì)算，得到所述第一加熱區(qū)所對應(yīng)的第（i+n）代價(jià)函數(shù)Cai+n，然后對第（i+n）代價(jià)函數(shù)Cai+n進(jìn)行最小化得到所述第一加熱區(qū)的第（i+n）最佳調(diào)溫功率Popt-ai+n；根據(jù)所述目標(biāo)溫度Tset、所述目標(biāo)功率Pset、所述第二受熱區(qū)的所述第i預(yù)測溫度Tbi和所述第i預(yù)測功率Pbi進(jìn)行計(jì)算，得到所述第二加熱區(qū)所對應(yīng)的第（i+n）代價(jià)函數(shù)Cbi+n，然后對第（i+n）代價(jià)函數(shù)Cbi+n進(jìn)行最小化得到所述第二加熱區(qū)的第（i+n）最佳調(diào)溫功率Popt-bi+n；根據(jù)所述第一受熱區(qū)的所述第i預(yù)測溫度Tai和所述第i預(yù)測功率Pai，所述第二受熱區(qū)的所述第i預(yù)測溫度Tbi以及所述第一加熱區(qū)的系統(tǒng)延遲修正值Dsa進(jìn)行計(jì)算，得到所述第一受熱區(qū)的第（i+n）預(yù)測溫度Ta（i+n）和對應(yīng)的第（i+n）預(yù)測功率Pai+n；根據(jù)所述第二受熱區(qū)的所述第i預(yù)測溫度Tbi和所述第i預(yù)測功率Pbi，所述第一受熱區(qū)的所述第i預(yù)測溫度Tai以及所述第二加熱區(qū)的系統(tǒng)延遲修正值Dsb進(jìn)行計(jì)算，得到所述第二受熱區(qū)的第（i+n）預(yù)測溫度Tbi+n和對應(yīng)的第（i+n）預(yù)測功率Pbi+n；控制所述第一加熱區(qū)以第（i+n）最佳調(diào)溫功率Popt-ai+n、所述第二加熱區(qū)以第（i+n）最佳調(diào)溫功率Popt-bi+n進(jìn)行所述第（i+n）調(diào)溫過程； 重復(fù)執(zhí)行所述步驟（i+n）直至所述第一受熱區(qū)和所述第二受熱區(qū)各自達(dá)到所述目標(biāo)溫度，n為大于等于1的正整數(shù)且順序取值；其中， ， ； ， ； ; ； ，； ，； ; ； 其中，α為調(diào)溫速率相關(guān)系數(shù)，是熱傳導(dǎo)系數(shù)，σ是Stefan-Boltzmann常數(shù)。

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