中芯國際集成電路制造(天津)有限公司;中芯國際集成電路制造(上海)有限公司宋宏浩獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中芯國際集成電路制造(天津)有限公司;中芯國際集成電路制造(上海)有限公司申請的專利半導體設備的清潔裝置和半導體設備系統獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223264464U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202421958562.2，技術領域涉及：B08B9/36；該實用新型半導體設備的清潔裝置和半導體設備系統是由宋宏浩;李勇剛;石春來;王高杰;李璟軒設計研發完成，并于2024-08-13向國家知識產權局提交的專利申請。
本半導體設備的清潔裝置和半導體設備系統在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種半導體設備的清潔裝置和半導體設備系統，該清潔裝置包括本體部、過濾裝置、真空發生裝置、管道和毛刷部；本體部的底座包括用于半導體設備的清潔通道，清潔通道通過清潔進氣口連接管道；過濾裝置的一端口與清潔通道通過管道連接，過濾裝置的另一端口與真空發生裝置的吸氣口通過管道連接，真空發生裝置的出氣口適于與本體部的外部連通；毛刷部位于底座下方，且毛刷部能夠跟隨本體部移動，以帶動半導體設備上的被清潔物體進入清潔通道，并通過清潔進氣口進入過濾裝置。本實用新型在改善半導體生產環境的同時，提高了半導體設備的清潔效率且節省了人力成本。
本實用新型半導體設備的清潔裝置和半導體設備系統在權利要求書中公布了：1.一種半導體設備的清潔裝置，其特征在于，包括本體部、過濾裝置、真空發生裝置、管道和毛刷部； 所述本體部的底座包括用于半導體設備的清潔通道，所述清潔通道通過清潔進氣口連接所述管道； 所述過濾裝置的一端口與所述清潔通道通過所述管道連接，所述過濾裝置的另一端口與所述真空發生裝置的吸氣口通過所述管道連接，所述真空發生裝置的出氣口適于與所述本體部的外部連通； 所述毛刷部位于所述底座下方，且所述毛刷部能夠跟隨所述本體部移動，以帶動所述半導體設備上的被清潔物體進入所述清潔通道，并通過所述清潔進氣口進入所述過濾裝置。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中芯國際集成電路制造(天津)有限公司;中芯國際集成電路制造(上海)有限公司，其通訊地址為：300385 天津市西青區西青經濟開發區興華道19號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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