湖南聯合半導體科技有限公司楊泰生獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉湖南聯合半導體科技有限公司申請的專利一種CVD尾氣出氣裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223268751U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422097909.5，技術領域涉及：C23C16/44；該實用新型一種CVD尾氣出氣裝置是由楊泰生;王良均;李玥設計研發完成，并于2024-08-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種CVD尾氣出氣裝置在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種CVD尾氣出氣裝置，其包括第一腔室和第二腔室，所述第一腔室位于所述第二腔室上方，所述第一腔室和所述第二腔室通過保溫層隔開，所述保溫層設置有導氣通道，所述導氣通道連通所述第一腔室和第二腔室；所述第一腔室的頂板上設置有進氣口，所述第二腔室的底板上設置有出氣導管；所述第一腔室和所述第二腔室內均設置有多個石墨板，所述石墨板上設置有若干個通孔；所述第一腔室內的多個石墨板在豎直方向上間隔設置，所述第二腔室內的多個石墨板在豎直方向上間隔設置。本實用新型能夠減緩尾氣流速，提高反應腔內沉積壓力穩定性，提高副產物在本裝置的沉積效率，降低副產物在真空管道、過濾裝置及真空泵內的沉積。
本實用新型一種CVD尾氣出氣裝置在權利要求書中公布了：1.一種CVD尾氣出氣裝置，其特征在于，包括第一腔室100和第二腔室200，所述第一腔室100位于所述第二腔室200上方，所述第一腔室100和所述第二腔室200通過保溫層201隔開，所述保溫層201設置有導氣通道202，所述導氣通道202連通所述第一腔室100和第二腔室200； 所述第一腔室100的頂板101上設置有進氣口102，所述第二腔室200的底板204上設置有出氣導管300；所述第一腔室100和所述第二腔室200內均設置有多個石墨板104，所述石墨板104上設置有若干個通孔105；所述第一腔室100內的多個石墨板104在豎直方向上間隔設置，所述第二腔室200內的多個石墨板104在豎直方向上間隔設置。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人湖南聯合半導體科技有限公司，其通訊地址為：410000 湖南省長沙市岳麓區瀟湘南路一段182號創匯商務中心；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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