北京確安科技股份有限公司俞輝獲國家專利權
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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京確安科技股份有限公司申請的專利晶圓區(qū)域性失效檢測方法、系統(tǒng)、電子設備和存儲介質獲國家發(fā)明授權專利權,本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予,授權公告號為:CN119087184B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉:該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為:202411242457.3,技術領域涉及:G01R31/28;該發(fā)明授權晶圓區(qū)域性失效檢測方法、系統(tǒng)、電子設備和存儲介質是由俞輝設計研發(fā)完成,并于2024-09-05向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。
本晶圓區(qū)域性失效檢測方法、系統(tǒng)、電子設備和存儲介質在說明書摘要公布了:本發(fā)明涉及晶圓測試技術領域,具體公開一種晶圓區(qū)域性失效檢測方法、系統(tǒng)、電子設備和存儲介質,該方法包括:獲取待測晶圓的MAP圖中的失效芯片坐標集合,計算所述失效芯片坐標集合與自身的笛卡爾積,并計算所述笛卡爾積中的每個坐標對的曼哈頓距離;將曼哈頓距離小于第一閾值的坐標對確定為目標坐標對,并對所有的目標坐標對進行并查集合并,判斷是否形成失效芯片區(qū)域;若形成失效芯片區(qū)域,則根據(jù)任一失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型以及該失效芯片區(qū)域的失效芯片數(shù)量,檢測該失效芯片區(qū)域是否存在異常。本發(fā)明能夠簡單高效地實現(xiàn)晶圓區(qū)域性失效檢測,有助于改進芯片設計和制造過程,提高產(chǎn)品質量和客戶滿意度。
本發(fā)明授權晶圓區(qū)域性失效檢測方法、系統(tǒng)、電子設備和存儲介質在權利要求書中公布了:1.一種晶圓區(qū)域性失效檢測方法,其特征在于,包括: 獲取待測晶圓的MAP圖中的失效芯片坐標集合,計算所述失效芯片坐標集合與自身的笛卡爾積,并計算所述笛卡爾積中的每個坐標對的曼哈頓距離; 將曼哈頓距離小于第一閾值的坐標對確定為目標坐標對,并對所有的目標坐標對進行并查集合并,判斷是否形成失效芯片區(qū)域; 若形成失效芯片區(qū)域,則根據(jù)任一失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型以及該失效芯片區(qū)域的失效芯片數(shù)量,檢測該失效芯片區(qū)域是否存在異常; 確定任一失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型的步驟,包括: 獲取所述任一失效芯片區(qū)域中的任一失效芯片坐標分別在不同方向上相距第二閾值的位置坐標,若該失效芯片坐標對應的任一位置坐標處于所述MAP圖對應的坐標之外時,將該失效芯片坐標確定為邊緣點坐標,直至確定所述任一失效芯片區(qū)域中所有的邊緣點坐標; 當所述任一失效芯片區(qū)域中的邊緣點坐標的數(shù)量超過第三閾值時,將該失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型確定為邊緣失效區(qū)域,否則,將該失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型確定為中心失效區(qū)域; 根據(jù)任一失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型以及該失效芯片區(qū)域的失效芯片數(shù)量,檢測該失效芯片區(qū)域是否存在異常的步驟,包括: 當所述任一失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型為邊緣失效區(qū)域時,若該失效芯片區(qū)域的失效芯片數(shù)量超過第四閾值,則判定該失效芯片區(qū)域存在異常,否則,判定該失效芯片區(qū)域不存在異常; 當所述任一失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型為中心失效區(qū)域時,若該失效芯片區(qū)域的失效芯片數(shù)量超過第五閾值,則判定該失效芯片區(qū)域存在異常,否則,判定該失效芯片區(qū)域不存在異常。
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