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龍圖騰網(wǎng)獲悉佛山市海光智能科技有限公司申請(qǐng)的專利一種密封性好的MPCVD腔體結(jié)構(gòu)獲國(guó)家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN223268766U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202422657573.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/511；該實(shí)用新型一種密封性好的MPCVD腔體結(jié)構(gòu)是由徐豐;周健泉設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-10-31向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種密封性好的MPCVD腔體結(jié)構(gòu)在說明書摘要公布了：本實(shí)用新型公開了一種密封性好的MPCVD腔體結(jié)構(gòu)，包括上蓋和容器，所述上蓋蓋合于所述容器的頂端，所述上蓋和所述容器之間形成反應(yīng)腔室；所述容器的頂端設(shè)有第一環(huán)形密封槽和第二環(huán)形密封槽，所述第一環(huán)形密封槽和第二環(huán)形密封槽內(nèi)均安裝有密封圈；所述容器的內(nèi)部設(shè)有第一水冷腔，所述容器設(shè)有與所述第一水冷腔相連通的第一進(jìn)水口和第一出水口。本實(shí)用新型使得冷卻液通過第一進(jìn)水口進(jìn)入第一水冷腔，并從第一出水口流出來帶走容器的熱量，以對(duì)容器頂端的第一環(huán)形密封槽和第二環(huán)形密封槽進(jìn)行降溫，避免密封圈處于高溫環(huán)境而容易老化，從而提高裝置密封的穩(wěn)定性。

本實(shí)用新型一種密封性好的MPCVD腔體結(jié)構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種密封性好的MPCVD腔體結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括上蓋1和容器2，所述上蓋1蓋合于所述容器2的頂端，所述上蓋1和所述容器2之間形成反應(yīng)腔室； 所述容器2的頂端設(shè)有第一環(huán)形密封槽21和第二環(huán)形密封槽22，所述第一環(huán)形密封槽21和第二環(huán)形密封槽22內(nèi)均安裝有密封圈23； 所述容器2的內(nèi)部設(shè)有第一水冷腔3，所述容器2設(shè)有與所述第一水冷腔3相連通的第一進(jìn)水口31和第一出水口32。

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