安徽其芒光電科技有限公司鄭炳蔚獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉安徽其芒光電科技有限公司申請的專利透射式檢測膜厚的光控結構獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223271848U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422780423.1,技術領域涉及:G01B11/06;該實用新型透射式檢測膜厚的光控結構是由鄭炳蔚;裴永康;常興旺;姜友松設計研發完成,并于2024-11-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本透射式檢測膜厚的光控結構在說明書摘要公布了:本申請公開一種透射式檢測膜厚的光控結構,用于監測真空鍍膜設備中的基片的鍍膜膜厚,所述真空鍍膜設備設有鍍膜腔,所述鍍膜腔內設有用于承載所述基片的支架;所述光控結構包括:鹵素燈、第一透鏡、棱鏡、第二透鏡、光纖和光譜儀;其中,所述鹵素燈位于所述第一透鏡的上方,所述第一透鏡位于所述支架的上方且位于所述鍍膜腔外;所述棱鏡位于所述支架的下方,所述第二透鏡位于所述棱鏡的一側,所述光纖位于所述第二透鏡背離所述棱鏡的一側;所述光譜儀和所述光纖背離所述第二透鏡的一端相連,所述光譜儀用于調節采集波長。本說明書所提供的透射式檢測膜厚的光控結構,可以在光學薄膜制備過程中對薄膜成長進行直接監測,以提高膜厚測量精準度。
本實用新型透射式檢測膜厚的光控結構在權利要求書中公布了:1.一種透射式檢測膜厚的光控結構,其特征在于,所述光控結構用于監測真空鍍膜設備中的基片的鍍膜膜厚,所述真空鍍膜設備設有鍍膜腔,所述鍍膜腔內設有用于承載所述基片的支架;所述光控結構包括:鹵素燈、第一透鏡、棱鏡、第二透鏡、光纖和光譜儀; 其中,所述鹵素燈位于所述第一透鏡的上方,所述第一透鏡位于所述支架的上方且位于所述鍍膜腔外;所述棱鏡位于所述支架的下方,所述第二透鏡位于所述棱鏡的一側,所述光纖位于所述第二透鏡背離所述棱鏡的一側;所述光譜儀和所述光纖背離所述第二透鏡的一端相連,所述光譜儀用于調節采集波長。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人安徽其芒光電科技有限公司,其通訊地址為:230000 安徽省合肥市高新區文曲路19號3樓101室;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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