冪帆科技(上海)股份有限公司陸寧寧獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉冪帆科技(上海)股份有限公司申請的專利一種晶圓全自動撕膜設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223267250U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422800159.3，技術領域涉及：B65B69/00；該實用新型一種晶圓全自動撕膜設備是由陸寧寧;葛春華;夏筆健設計研發完成，并于2024-11-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓全自動撕膜設備在說明書摘要公布了：本實用新型屬于半導體加工技術領域，是關于一種晶圓全自動撕膜設備，其包括：設備殼體；搬運機械手單元，設于設備殼體內，所述搬運機械手單元將晶圓從晶圓傳送盒中取出并送到預設位置；解膠單元，設于設備殼體內；所述搬運機械手單元將晶圓送至解膠單元中進行晶圓膜的解膠；晶圓搬運單元，設于設備殼體內；搬運機械手單元將解膠后的晶圓送至晶圓搬運單元上；撕膜單元，設于設備殼體內；對晶圓搬運單元上的晶圓的晶圓膜進行撕膜。采用上述結構后，其有益效果是：能夠全自動進行晶圓位置校準、晶圓膜解膠和晶圓撕膜。
本實用新型一種晶圓全自動撕膜設備在權利要求書中公布了：1.一種晶圓全自動撕膜設備，其特征在于，其包括： 設備殼體； 搬運機械手單元，設于設備殼體內，所述搬運機械手單元將晶圓從晶圓傳送盒中取出并送到預設位置； 解膠單元，設于設備殼體內；所述搬運機械手單元將晶圓送至解膠單元中進行晶圓膜的解膠； 晶圓搬運單元，設于設備殼體內；搬運機械手單元將解膠后的晶圓送至晶圓搬運單元上； 撕膜單元，設于設備殼體內；對晶圓搬運單元上的晶圓的晶圓膜進行撕膜；搬運機械手單元將撕膜后的晶圓送至預設位置。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人冪帆科技(上海)股份有限公司，其通訊地址為：201506 上海市金山區春麗路1239號3號樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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