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龍圖騰網(wǎng)獲悉甘肅省科學(xué)院傳感技術(shù)研究所申請(qǐng)的專利一種Si基復(fù)合微結(jié)構(gòu)光電探測(cè)器及其形成方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119584725B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202411897836.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H10F77/70；該發(fā)明授權(quán)一種Si基復(fù)合微結(jié)構(gòu)光電探測(cè)器及其形成方法是由員朝鑫;謝明玲;宋成君;李濤;趙季杰;高曉平;何開(kāi)宙設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-12-23向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種Si基復(fù)合微結(jié)構(gòu)光電探測(cè)器及其形成方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種Si基復(fù)合微結(jié)構(gòu)光電探測(cè)器及其形成方法，涉及光電探測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。Si基復(fù)合微結(jié)構(gòu)光電探測(cè)器包括信號(hào)采集第一端子、光增強(qiáng)吸收微結(jié)構(gòu)和光可透過(guò)信號(hào)采集第二端子。增強(qiáng)光吸收微結(jié)構(gòu)由短波段可見(jiàn)光增強(qiáng)吸圓形光敏感區(qū)、中波段可見(jiàn)光增強(qiáng)吸收內(nèi)環(huán)光敏感區(qū)和長(zhǎng)波段可見(jiàn)光增強(qiáng)吸收外環(huán)光敏感區(qū)構(gòu)成。本發(fā)明設(shè)計(jì)了具有鷹眼仿生結(jié)構(gòu)的復(fù)合光敏感單元，通過(guò)調(diào)控微結(jié)構(gòu)中呈桿狀、棱臺(tái)狀、錐狀外形的亞單元幾何外形和排列方式，實(shí)現(xiàn)不同波段光的低反射和高吸收，從而提高光電探測(cè)器的光響應(yīng)特性。

本發(fā)明授權(quán)一種Si基復(fù)合微結(jié)構(gòu)光電探測(cè)器及其形成方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種Si基復(fù)合微結(jié)構(gòu)光電探測(cè)器，所述Si基復(fù)合微結(jié)構(gòu)光電探測(cè)器包括信號(hào)采集第一端子（301）、不同波長(zhǎng)可見(jiàn)光增強(qiáng)吸收微結(jié)構(gòu)單元（401）和光可透過(guò)的信號(hào)采集第二端子（302）；其特征在于，增強(qiáng)光吸收微結(jié)構(gòu)單元包括短波段可見(jiàn)光增強(qiáng)吸收中心光敏感區(qū)（101）、中波段可見(jiàn)光增強(qiáng)吸收內(nèi)環(huán)光敏感區(qū)（102）和長(zhǎng)波段可見(jiàn)光增強(qiáng)吸收外環(huán)光敏感區(qū)（103），三個(gè)光敏感區(qū)由內(nèi)向外呈逐次套接；信號(hào)采集第一端子（301）位于增強(qiáng)吸收微結(jié)構(gòu)單元（401）外側(cè)，信號(hào)采集第二端子（302）覆蓋于增強(qiáng)吸收復(fù)合微結(jié)構(gòu)單元上方； 增強(qiáng)吸收復(fù)合微結(jié)構(gòu)單元采用ICP-RIE和可變角度IBE相結(jié)合的刻蝕工藝形成，且從中心光敏感區(qū)（101）至外環(huán)光敏感區(qū)（103）的微結(jié)構(gòu)亞單元密度依次變小、微結(jié)構(gòu)體積依次變大； 所述短波段可見(jiàn)光增強(qiáng)吸收中心光敏感區(qū)（101）的微結(jié)構(gòu)由呈錐狀亞單元陣列構(gòu)成；所述中波段可見(jiàn)光增強(qiáng)吸收內(nèi)環(huán)光敏感區(qū)（102）的微結(jié)構(gòu)由呈棱臺(tái)狀亞單元陣列構(gòu)成；所述長(zhǎng)波段可見(jiàn)光增強(qiáng)吸收外環(huán)光敏感區(qū)（103）的微結(jié)構(gòu)由呈桿狀亞單元陣列構(gòu)成。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人甘肅省科學(xué)院傳感技術(shù)研究所，其通訊地址為：730000 甘肅省蘭州市城關(guān)區(qū)定西南路229號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。