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龍圖騰網(wǎng)獲悉浙江大學(xué)申請(qǐng)的專利半導(dǎo)體器件熱退火工藝優(yōu)化方法、電阻預(yù)測(cè)方法及其系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120197530B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510686170.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06F30/27；該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體器件熱退火工藝優(yōu)化方法、電阻預(yù)測(cè)方法及其系統(tǒng)是由李海川;綦殿禹;任堃;高大為設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-05-27向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本半導(dǎo)體器件熱退火工藝優(yōu)化方法、電阻預(yù)測(cè)方法及其系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開一種半導(dǎo)體器件熱退火工藝優(yōu)化方法、電阻預(yù)測(cè)方法及其系統(tǒng)。本發(fā)明通過匹配偏差最小化動(dòng)態(tài)修正熱預(yù)算模型中的修正指數(shù)和激活率模型中的基準(zhǔn)熱預(yù)算參數(shù)，使模型能夠自適應(yīng)不同熱退火條件。通過修正激活率與目標(biāo)值的實(shí)時(shí)比對(duì)，可直接調(diào)整熱退火工藝參數(shù)。最后通過融合物理模型（修正熱預(yù)算模型和修正激活率模型）與數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)方法實(shí)現(xiàn)電阻預(yù)測(cè)，顯著減少了傳統(tǒng)純物理仿真的計(jì)算復(fù)雜度與時(shí)間成本，克服了傳統(tǒng)機(jī)器學(xué)習(xí)模型對(duì)大規(guī)模數(shù)據(jù)集的依賴，解決了傳統(tǒng)方法在效率、成本、精度與泛化性方面的瓶頸，為先進(jìn)半導(dǎo)體制造提供了高效、低成本、高可靠的工藝優(yōu)化與性能預(yù)測(cè)方案。

本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體器件熱退火工藝優(yōu)化方法、電阻預(yù)測(cè)方法及其系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體器件熱退火工藝優(yōu)化方法，所述半導(dǎo)體器件基于硅基摻雜半導(dǎo)體，其特征在于，所述方法包括： 獲取多對(duì)數(shù)據(jù)，每對(duì)數(shù)據(jù)來自相同摻雜條件、不同熱退火條件下的兩個(gè)半導(dǎo)體器件，其包括兩組帶標(biāo)簽的熱退火工藝數(shù)據(jù)，每組熱退火工藝數(shù)據(jù)包括摻雜條件、熱退火條件，所述標(biāo)簽為當(dāng)前熱退火工藝下的半導(dǎo)體器件電阻阻值； 針對(duì)每對(duì)數(shù)據(jù)，將兩組熱退火工藝數(shù)據(jù)分別輸入至熱預(yù)算模型，得到兩個(gè)熱退火熱預(yù)算值；將兩個(gè)熱退火熱預(yù)算值分別輸入到激活率模型，得到兩個(gè)摻雜雜質(zhì)激活率；根據(jù)兩個(gè)摻雜雜質(zhì)激活率以及各自對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體器件電阻阻值，計(jì)算得到摻雜雜質(zhì)激活率與半導(dǎo)體器件電阻阻值的匹配偏差；將各對(duì)數(shù)據(jù)的匹配偏差累加，得到總匹配偏差； 尋找一組熱預(yù)算模型的修正指數(shù)、激活率模型的基準(zhǔn)熱預(yù)算參數(shù)，以使總匹配偏差值最小； 將尋找到的修正指數(shù)、特征熱預(yù)算參數(shù)分別帶入熱預(yù)算模型、激活率模型，得到修正熱預(yù)算模型、修正激活率模型； 將實(shí)時(shí)獲取的熱退火工藝數(shù)據(jù)輸入至修正熱預(yù)算模型，得到熱退火修正熱預(yù)算值；將熱退火修正熱預(yù)算值輸入至修正激活率模型，得到摻雜雜質(zhì)修正激活率；根據(jù)摻雜雜質(zhì)修正激活率與目標(biāo)值的比對(duì)結(jié)果進(jìn)行半導(dǎo)體器件的熱退火工藝優(yōu)化。

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