買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉北京精恒工控科技有限公司申請的專利一種用于石英晶體的激光雙面刻蝕的刻蝕速率調控方法及系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120244270B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510748224.9，技術領域涉及：B23K26/362；該發明授權一種用于石英晶體的激光雙面刻蝕的刻蝕速率調控方法及系統是由廖占武;汪林亮設計研發完成，并于2025-06-06向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種用于石英晶體的激光雙面刻蝕的刻蝕速率調控方法及系統在說明書摘要公布了：本發明涉及激光雙面刻蝕技術領域，公開了一種用于石英晶體的激光雙面刻蝕的刻蝕速率調控方法及系統，該系統包括：速率確定單元，被配置為基于解析結果確定激光雙面刻蝕的初始刻蝕速率；判斷單元，被配置為采集待刻蝕石英晶體的實時刻蝕圖像數據，并根據實時刻蝕圖像數據判斷是否對初始刻蝕速率進行調整；速率調整單元，被配置為基于角度數據和環境數據確定初始刻蝕速率的調整系數，并獲得最終刻蝕速率；執行單元，被配置為以最終刻蝕速率對待刻蝕石英晶體進行激光雙面刻蝕。本發明通過精確調控激光雙面刻蝕的速率，提高了石英晶體的加工精度和效率。

本發明授權一種用于石英晶體的激光雙面刻蝕的刻蝕速率調控方法及系統在權利要求書中公布了：1.一種用于石英晶體的激光雙面刻蝕的刻蝕速率調控系統，其特征在于，包括： 速率確定單元，被配置為采集待刻蝕石英晶體的石英晶體特性數據和激光雙面刻蝕的目標數據，并對所述石英晶體特性數據和目標數據進行解析，基于解析結果確定激光雙面刻蝕的初始刻蝕速率； 判斷單元，被配置為以所述初始刻蝕速率對所述待刻蝕石英晶體進行激光雙面刻蝕，采集所述待刻蝕石英晶體的實時刻蝕圖像數據，并根據所述實時刻蝕圖像數據判斷是否對所述初始刻蝕速率進行調整； 速率調整單元，被配置為當判定對所述初始刻蝕速率進行調整時，采集激光雙面刻蝕的角度數據和環境數據，基于所述角度數據和環境數據確定所述初始刻蝕速率的調整系數，并獲得最終刻蝕速率； 執行單元，被配置為以所述最終刻蝕速率對所述待刻蝕石英晶體進行激光雙面刻蝕； 所述速率確定單元對所述石英晶體特性數據和目標數據進行解析，基于解析結果確定激光雙面刻蝕的初始刻蝕速率時，包括： 所述石英晶體特性數據包括所述待刻蝕石英晶體的晶面指數、表面粗糙度和晶體吸收率； 所述目標數據包括刻蝕深度和刻蝕精度； 根據所述晶面指數和表面粗糙度確定激光雙面刻蝕的基本刻蝕速率； 根據所述晶體吸收率判斷是否對所述基本刻蝕速率進行修正； 當判定對所述基本刻蝕速率進行修正時，根據所述晶體吸收率、刻蝕深度和刻蝕精度構建初始向量組，根據所述初始向量組確定所述基本刻蝕速率的修正系數，并獲得所述初始刻蝕速率； 所述速率確定單元根據所述初始向量組確定所述基本刻蝕速率的修正系數，并獲得所述初始刻蝕速率時，包括： 將所述初始向量組與歷史修正組進行比對，根據比對結果確定所述基本刻蝕速率的修正系數； 當所述歷史修正組中存在與所述初始向量組相同的歷史向量組時，將所述歷史向量組對應的歷史修正系數作為所述修正系數，并將所述歷史修正系數與所述基本刻蝕速率的乘積值作為所述初始刻蝕速率； 當所述歷史修正組中不存在與所述初始向量組相同的歷史向量組時，計算當前所述初始向量組與每一個歷史向量組的聯系強度，并提取最大聯系強度；根據所述最大聯系強度確定所述基本刻蝕速率的修正系數，并將所述修正系數與所述基本刻蝕速率的乘積值作為所述初始刻蝕速率； 所述速率確定單元根據所述最大聯系強度確定所述基本刻蝕速率的修正系數時，包括： 當所述最大聯系強度對應的歷史向量組唯一時，將所述最大聯系強度對應的歷史向量組對應的歷史修正系數作為所述修正系數； 當所述最大聯系強度對應的歷史向量組不唯一時，根據所述最大聯系強度對應的多個歷史向量組計算平均修正系數，并將所述平均修正系數作為所述修正系數。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京精恒工控科技有限公司，其通訊地址為：101118 北京市通州區宋莊鎮草寺村委會南300米；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。