上海微釜半導體設備有限公司劉曉東獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海微釜半導體設備有限公司申請的專利加快封閉環境降溫速度的方法及裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120403146B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510905431.0,技術領域涉及:F25D3/00;該發明授權加快封閉環境降溫速度的方法及裝置是由劉曉東;趙燕平;趙金龍設計研發完成,并于2025-07-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本加快封閉環境降溫速度的方法及裝置在說明書摘要公布了:本發明提供加快封閉環境降溫速度的方法及裝置,涉及降溫領域,所述方法包括:風機將氮氣吹過需降溫的降溫件承載系統,氮氣吸收熱量后通過熱交換器冷卻,然后通過風道回到風機再循環,還包括:在封閉環境內安裝黑度適合吸收降溫件降溫時降溫件輻射的、波長處于2.5微米?3.5微米區間的熱輻射能量的冷卻板,在封閉環境內的未安裝冷卻板的壁面安裝鏡面反射板,將輻射熱快速由冷卻板吸收;使封閉環境內除了冷卻板、鏡面反射板的其它零部件吸收熱量減小,降低封閉環境內部的溫度上升幅度。本發明采用在封閉環境內安裝上述冷卻板和鏡面反射板,使降溫件輻射的熱輻射能量經鏡面反射板定向反射至冷卻板表面,降低封閉環境內部的溫度上升幅度。
本發明授權加快封閉環境降溫速度的方法及裝置在權利要求書中公布了:1.加快封閉環境降溫速度的方法,包括:風機1將氮氣吹過需降溫的降溫件承載系統2,氮氣吸收熱量后通過熱交換器8冷卻,然后通過風道5回到風機1再循環,其特征在于,還包括: 在封閉環境3內安裝黑度適合吸收降溫件降溫時降溫件輻射的、波長處于2.5微米-3.5微米區間的熱輻射能量的冷卻板4,在封閉環境3內的未安裝冷卻板4的壁面安裝鏡面反射板6,使降溫件輻射的熱輻射能量經鏡面反射板6定向反射至冷卻板4表面,將輻射熱快速由冷卻板4吸收; 使封閉環境3內除了冷卻板4、鏡面反射板6的其它零部件吸收熱量減小,降低封閉環境3內部的溫度上升幅度; 風機1的出風口還設置過濾器9; 降溫件承載系統2位于過濾器9左側,所述過濾器9包括: 過濾器殼91,所述過濾器殼91內下部連接水平隔板92,所述水平隔板92將過濾器殼91分隔為上腔體9101內下腔體9102,所述水平隔板92左右間隔設置豎管一93、豎管二94,所述豎管一93、豎管二94上下貫通水平隔板92,所述豎管一93、豎管二94下部均設置控制閥門95,所述豎管二94上端封閉且豎管二94上端靠近上腔體9101上端,所述豎管二94左側上下間隔連通若干水平管一96,所述上腔體9101內設置豎濾網97,所述豎濾網97位于豎管一93左側,所述水平管一96左端與豎濾網97右端接觸,所述豎濾網97的濾孔為左右水平方向,所述豎濾網97左端與水平管二98右端接觸,所述水平管二98左端貫穿過濾器殼91左端,所述水平管二98左端連通噴頭一910,上下相鄰的水平管二98之間設置水平管三99,所述水平管三99貫通所述過濾器殼91左側,所述水平管二98左端連接噴頭二911。
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