株式會社尼康柴崎祐一獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉株式會社尼康申請的專利加工裝置及加工方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN115519240B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202211383444.9,技術(shù)領(lǐng)域涉及:B23K26/08;該發(fā)明授權(quán)加工裝置及加工方法是由柴崎祐一設(shè)計研發(fā)完成,并于2018-04-26向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本加工裝置及加工方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明的加工裝置具備:第1載臺系統(tǒng),其具有載置工件W的平臺12,且使保持于平臺的工件移動;光束照射系統(tǒng)500,其包含射出光束LB的聚光光學(xué)系統(tǒng)530;以及控制裝置,其控制第1載臺系統(tǒng)及照射系統(tǒng);一邊使平臺與來自聚光光學(xué)系統(tǒng)的光束相對移動,一邊對工件的目標(biāo)部位進行加工,且可變更聚光光學(xué)系統(tǒng)的射出面?zhèn)鹊牡?面MP上的光束的強度分布、及聚光光學(xué)系統(tǒng)的光軸AX方向上的位置與第1面不同的第2面上的光束的強度分布的至少一者。
本發(fā)明授權(quán)加工裝置及加工方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種加工裝置,其一邊使工件與光束相對移動一邊照射該光束來對該工件進行加工,所述加工裝置具備: 光束照射系統(tǒng),其包含射出所述光束的聚光光學(xué)系統(tǒng); 所述光束照射系統(tǒng)具有光學(xué)元件,所述光學(xué)元件可變更所述聚光光學(xué)系統(tǒng)的射出面?zhèn)鹊募庸っ嫔系乃龉馐膹姸确植肌⒓八鼍酃夤鈱W(xué)系統(tǒng)的光瞳面上的所述光束的剖面強度分布; 通過所述光學(xué)元件進行的所述光瞳面上的所述光束的剖面強度分布的變更,包含所述光瞳面上的所述光束的剖面形狀的變更; 所述光瞳面上的所述光束的剖面形狀于至少一部分具有直線狀的邊緣,且可變更為: 所述直線狀的邊緣的一部分沿著在所述光瞳面上通過所述光瞳面的中心的第1假想軸線、和在所述光瞳面上通過所述光瞳面的中心且與所述第1假想軸線正交的第2假想軸線的至少一者的第1形狀;以及 所述直線狀的邊緣不沿著所述第1假想軸線與所述第2假想軸線的任何一個的第2形狀。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人株式會社尼康,其通訊地址為:日本東京都;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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