株式會社迪思科莊司啟一獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社迪思科申請的專利加工裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112103229B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202010522605.2,技術領域涉及:H01L21/677;該發明授權加工裝置是由莊司啟一設計研發完成,并于2020-06-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本加工裝置在說明書摘要公布了:提供加工裝置,其能夠判定有無收納于盒內的各層的晶片以及在夾持了晶片之后是否適當地抽出,能夠在適當的位置保持晶片。加工裝置的搬送單元包含對被加工物進行夾持的夾持部以及能夠使夾持部在高度方向和相對于盒的進退方向上移動的搬送臂。夾持部包含對被加工物的下表面進行支承的支承部、與被加工物的上表面接觸而與支承部之間夾持被加工物的按壓部以及使支承部與按壓部相對地遠離和接近的驅動單元。搬送單元還包含光反射型傳感器,該光反射型傳感器固定于夾持部且設置于與夾持部夾持被加工物時的高度相同的高度,朝向收納于盒中的被加工物照射光。
本發明授權加工裝置在權利要求書中公布了:1.一種加工裝置,其中, 該加工裝置具有: 保持工作臺,其對被加工物進行保持; 加工單元,其對該保持工作臺所保持的被加工物進行加工; 盒,其設置于盒臺,對多個被加工物進行收納; 搬送單元,其配設成能夠插入至該盒內,相對于該盒將被加工物搬出搬入;以及 控制單元,其對該保持工作臺、該加工單元以及該搬送單元進行控制, 該搬送單元包含: 夾持部,其對被加工物進行夾持;以及 搬送臂,其能夠使該夾持部在高度方向和相對于盒的進退方向上移動, 該夾持部包含: 支承部,其對被加工物的下表面進行支承; 按壓部,其與被加工物的上表面接觸,與該支承部之間夾持被加工物;以及 驅動單元,其使該支承部與該按壓部相對地遠離和接近, 該搬送單元包含光反射型傳感器,該光反射型傳感器固定于該夾持部且設置于與該夾持部夾持被加工物時的高度相同的高度,朝向收納于盒中的被加工物照射光, 該控制單元包含: 夾持光量記錄部,其記錄該夾持部夾持了收納于該盒中的被加工物的階段的反射光量; 抽出光量記錄部,其記錄為了將被加工物從該盒中抽出而使該夾持部遠離該盒的階段的反射光量;以及 抽出判斷部,其在該夾持光量記錄部和該抽出光量記錄部所記錄的光量之差超過閾值的情況下,判斷為未將被加工物適當地抽出,并且在該夾持光量記錄部和該抽出光量記錄部所記錄的光量之差未超過閾值的情況下,判斷為已將被加工物適當地抽出。
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