買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉朗姆研究公司申請的專利在襯底處理系統中用于加載鎖的自動清潔獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114631173B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080070608.5，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權在襯底處理系統中用于加載鎖的自動清潔是由亞當·帕特里克·貝特曼;特拉維斯·R·泰勒設計研發完成，并于2020-10-05向國家知識產權局提交的專利申請。

本在襯底處理系統中用于加載鎖的自動清潔在說明書摘要公布了：一種用于清潔襯底處理系統中的加載鎖的方法包含：在第一時段中，將與氣體源流體連通的第一閥開啟，以供應氣體通過第一通氣口而進入所述加載鎖的氣體容積。所述氣體在足以從所述加載鎖的表面上擾動顆粒的壓強和流率下供應。所述方法包含：在所述第一時段之后的第二時段中且所述第一閥開啟的情況下，將與泵流體連通的第二閥開啟，并且啟動所述泵以從所述加載鎖的所述氣體容積中沖洗掉所述氣體和所述顆粒；以及在所述第二時段之后的第三時段中，關閉所述第一閥，同時繼續經由所述第二閥而從所述加載鎖的所述氣體容積中泵抽所述氣體和所述顆粒。

本發明授權在襯底處理系統中用于加載鎖的自動清潔在權利要求書中公布了：1.一種用于清潔襯底處理系統中的加載鎖的方法，所述方法包含： a在第一時段中，將與氣體源流體連通的第一閥開啟，以供應氣體向下通過頂部通氣口而進入所述加載鎖的氣體容積，其中所述頂部通氣口在所述加載鎖的頂表面中且所述氣體在足以從所述加載鎖的至少底表面上擾動顆粒的壓強和流率下供應； b在所述第一時段之后的第二時段中且所述第一閥開啟的情況下，i將與泵流體連通的第二閥開啟，并且ii啟動所述泵以從所述加載鎖的所述氣體容積中沖洗掉所述氣體和所述顆粒； c在所述第二時段之后的第三時段中，關閉所述第一閥，同時繼續經由所述第二閥而從所述加載鎖的所述氣體容積中泵抽所述氣體和所述顆粒； d在第四時段中，將與所述氣體源流體連通的第三閥開啟，以供應所述氣體向上通過底部通氣口而進入所述加載鎖的所述氣體容積，其中所述底部通氣口在所述加載鎖的所述底表面中，且所述氣體在足以從所述加載鎖的至少所述頂表面上擾動顆粒的壓強和流率下供應； e在所述第四時段之后的第五時段中且所述第三閥開啟的情況下，i將所述第二閥開啟，并且ii啟動所述泵以從所述加載鎖的所述氣體容積中沖洗掉所述氣體和所述顆粒；以及 f在所述第五時段之后的第六時段中，關閉所述第三閥，同時繼續經由所述第二閥而從所述加載鎖的所述氣體容積中泵抽所述氣體和所述顆粒。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。