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龍圖騰網(wǎng)獲悉應(yīng)用材料以色列公司申請(qǐng)的專利半導(dǎo)體樣本的檢查獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115023731B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080094814.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06T7/00；該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體樣本的檢查是由D·阿爾蒙特;S·埃爾卡亞姆;S·科恩設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-11-04向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本半導(dǎo)體樣本的檢查在說明書摘要公布了：提供了使用檢查配方來(lái)檢查半導(dǎo)體樣本的系統(tǒng)和方法。所述方法包括以下步驟：獲得配準(zhǔn)的圖像對(duì)；針對(duì)與給定層相關(guān)聯(lián)的每個(gè)基于設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)元件：計(jì)算邊緣屬性；使用經(jīng)訓(xùn)練的分類器來(lái)確定基于設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)元件的類別；以及產(chǎn)生可用于確定配準(zhǔn)的圖像對(duì)的有效性的層分?jǐn)?shù)。還提供了產(chǎn)生可用于檢查半導(dǎo)體樣本的檢查配方的系統(tǒng)和方法。

本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體樣本的檢查在權(quán)利要求書中公布了：1.一種使用檢查配方來(lái)檢查半導(dǎo)體樣本的計(jì)算機(jī)化系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括處理器和存儲(chǔ)器電路系統(tǒng)PMC，所述處理器和存儲(chǔ)器電路系統(tǒng)PMC被配置為： 獲得配準(zhǔn)的圖像對(duì)，所述配準(zhǔn)的圖像對(duì)包括第一圖像和第二圖像，所述第一圖像由檢查工具所捕獲且代表所述半導(dǎo)體樣本的至少部分，所述第二圖像基于表征所述樣本的所述至少部分的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)來(lái)產(chǎn)生，所述第二圖像包括與所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)中的設(shè)計(jì)層對(duì)應(yīng)的一個(gè)或多個(gè)層，所述第二圖像提供所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)中所呈現(xiàn)的一個(gè)或多個(gè)基于設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)元件的信息，每個(gè)基于設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)元件與所述基于設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)元件所在的相應(yīng)層相關(guān)聯(lián)； 針對(duì)與所述一個(gè)或多個(gè)層中的給定層相關(guān)聯(lián)的每個(gè)基于設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)元件： 計(jì)算邊緣屬性，所述邊緣屬性與所述基于設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)元件相關(guān)聯(lián)且指示在所述第二圖像中的基于設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)元件的邊緣的位置處的所述第一圖像中的基于圖像的結(jié)構(gòu)元件的邊緣的估算存在；以及 使用被包括在所述檢查配方中的經(jīng)訓(xùn)練的分類器基于與所述基于設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)元件相關(guān)聯(lián)的所述邊緣屬性，來(lái)確定所述基于設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)元件的類別，所述類別指示在所述基于設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)元件的所述位置處的所述第一圖像與所述第二圖像之間的配準(zhǔn)的有效性；以及 針對(duì)所述給定層基于與所述給定層相關(guān)聯(lián)的每個(gè)基于設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)元件的所述類別來(lái)產(chǎn)生層分?jǐn)?shù)，所述分?jǐn)?shù)可用于基于所述檢查配方中所預(yù)定的層閾值來(lái)確定所述配準(zhǔn)的圖像對(duì)的有效性。

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