蘇州躍芯微傳感技術有限公司馬清杰獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州躍芯微傳感技術有限公司申請的專利一種MEMS壓力傳感器及其的制作方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115326249B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210834456.2，技術領域涉及：G01L1/18；該發明授權一種MEMS壓力傳感器及其的制作方法是由馬清杰;李靜設計研發完成，并于2021-06-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種MEMS壓力傳感器及其的制作方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種MEMS壓力傳感器及其的制作方法，所述MEMS壓力傳感器包括：排列在第一平面上的四個條狀凸起，其中每個所述條狀凸起均包括P型濃摻雜層；多個電極，其中各所述電極用于各所述條狀凸起接入輸入電信號和輸出電信號，各所述電極和各所述條狀凸起構成惠斯通電橋；應變薄膜層，其設置于腔體與所述惠斯通電橋之間。該結構以實現提高壓力傳感器的靈敏度和穩定性，并減小壓力傳感器的尺寸。
本發明授權一種MEMS壓力傳感器及其的制作方法在權利要求書中公布了：1.一種MEMS壓力傳感器，其特征在于，包括： 排列在第一平面上的四個條狀凸起，其中每個所述條狀凸起均包括P型濃摻雜層； 多個電極，其中各所述電極用于各所述條狀凸起接入輸入電信號和輸出電信號，各所述電極和各所述條狀凸起構成惠斯通電橋； 設置于腔體與所述惠斯通電橋之間的應變薄膜層， 各所述條狀凸起均包括壓敏電阻部和兩個導線部；所述壓敏電阻部的兩端分別與一個所述導線部連接；其中，所述壓敏電阻部線寬小于所述導線部線寬。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州躍芯微傳感技術有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市工業園區金雞湖大道99號蘇州納米城西北區2號樓516室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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