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龍圖騰網(wǎng)獲悉意法半導(dǎo)體股份有限公司申請的專利用于MEMS快門的角壓電致動器及其制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113860253B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202110726847.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B81B3/00；該發(fā)明授權(quán)用于MEMS快門的角壓電致動器及其制造方法是由D·朱斯蒂;M·默利設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-06-29向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本用于MEMS快門的角壓電致動器及其制造方法在說明書摘要公布了：本公開的各實施例涉及用于MEMS快門的角壓電致動器及其制造方法。一種MEMS致動器，包括主體，該主體具有中心部分和外圍部分，中心部分能夠耦合到襯底，外圍部分當(dāng)中心部分耦合到襯底時懸掛在襯底上方。外圍部分具有圍繞中心部分延伸并形成連續(xù)布置的膜的可變形結(jié)構(gòu)。MEMS致動器包括承載結(jié)構(gòu)和對應(yīng)的壓電致動器。承載結(jié)構(gòu)在該承載結(jié)構(gòu)的頂部處被固定到可變形結(jié)構(gòu)并且橫向地界定對應(yīng)的空腔，每個空腔具有面向主體的中心部分并且在頂部處由膜封閉的橫向開口。膜的固定部段固定到下面的承載結(jié)構(gòu)，并且懸掛部段相對于下面的承載結(jié)構(gòu)橫向偏移。壓電致動器是可控制的，以引起對應(yīng)的膜的變形和承載結(jié)構(gòu)圍繞主體的中心部分的旋轉(zhuǎn)。

本發(fā)明授權(quán)用于MEMS快門的角壓電致動器及其制造方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種微機(jī)電致動器，包括： 主體，包括中心部分和外圍部分，所述中心部分能夠耦合到襯底，其中，當(dāng)所述中心部分耦合到所述襯底時，所述外圍部分懸掛在所述襯底上方，并且其中，所述外圍部分包括可變形結(jié)構(gòu)，所述可變形結(jié)構(gòu)圍繞所述中心部分延伸并且形成連續(xù)布置的多個膜，所述外圍部分在靜止時具有螺旋平面形狀；以及 多個承載結(jié)構(gòu)，每個承載結(jié)構(gòu)在該承載結(jié)構(gòu)的頂部處被固定到所述可變形結(jié)構(gòu)、并且橫向地界定對應(yīng)的空腔，所述對應(yīng)的空腔具有面向所述主體的所述中心部分的橫向開口、并且在所述對應(yīng)的空腔的頂部處由對應(yīng)的膜封閉，所述對應(yīng)的膜包括固定部段和懸掛部段，所述固定部段被附貼到下面的承載結(jié)構(gòu)，所述懸掛部段相對于所述下面的承載結(jié)構(gòu)橫向地偏移、并且界定所述空腔的所述橫向開口； 每個承載結(jié)構(gòu)具有與該承載結(jié)構(gòu)關(guān)聯(lián)的對應(yīng)的壓電致動器；以及 其中，所述壓電致動器是可電控的，以便引起所述對應(yīng)的膜的變形，所述變形包括所述懸掛部段的部分的向上彎曲，所述膜的所述懸掛部段的所述部分的向上彎曲引起所述承載結(jié)構(gòu)圍繞所述主體的所述中心部分的旋轉(zhuǎn)。

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