浜松光子學株式會社杉本陽獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉浜松光子學株式會社申請的專利激光加工裝置和激光加工方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114054984B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110862573.5,技術領域涉及:B23K26/50;該發明授權激光加工裝置和激光加工方法是由杉本陽設計研發完成,并于2021-07-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本激光加工裝置和激光加工方法在說明書摘要公布了:激光加工裝置對具有基板和功能元件層的對象物照射加工用激光,該基板包含第1主面和第2主面,該功能元件層設置于基板的第1主面側且包含金屬層,在功能元件層的內部沿著假想面形成改質區域。激光加工裝置包括:從第2主面側對對象物照射加工用激光的加工用照射部;從第2主面側對對象物照射透過基板的觀察用透過光的觀察用照射部;移動機構;取得觀察用透過光的焦點對準金屬層時的厚度方向上的觀察用照射部和或支承部的位置作為金屬層焦點位置的焦點位置取得部;和以由焦點位置取得部取得的金屬層焦點位置為基準,將形成改質區域時的厚度方向上的加工用照射部和或支承部的位置設定為激光加工位置的加工位置設定部。
本發明授權激光加工裝置和激光加工方法在權利要求書中公布了:1.一種激光加工裝置,其特征在于, 對具有基板和功能元件層的對象物照射加工用激光,所述基板包含第1主面和所述第1主面的相反側的第2主面,所述功能元件層設置于所述基板的所述第1主面側且包含金屬層,在所述功能元件層的內部沿著假想面形成改質區域, 所述激光加工裝置包括: 支承所述對象物的支承部; 從所述第2主面側對所述對象物照射所述加工用激光的加工用照射部; 從所述第2主面側對所述對象物照射透過所述基板的觀察用透過光的觀察用照射部; 使所述支承部、所述加工用照射部和所述觀察用照射部中的至少任一個在所述對象物的厚度方向上移動的移動機構; 取得所述觀察用透過光的焦點對準所述金屬層時的所述厚度方向上的所述觀察用照射部和或所述支承部的位置作為金屬層焦點位置的焦點位置取得部;和 以由所述焦點位置取得部取得的所述金屬層焦點位置為基準,將形成所述改質區域時的所述厚度方向上的所述加工用照射部和或所述支承部的位置設定為激光加工位置的加工位置設定部。
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