長鑫存儲技術有限公司王順獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉長鑫存儲技術有限公司申請的專利套刻誤差補償方法及系統、計算機可讀存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116224718B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111511510.1，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權套刻誤差補償方法及系統、計算機可讀存儲介質是由王順;張君君設計研發完成，并于2021-12-06向國家知識產權局提交的專利申請。
本套刻誤差補償方法及系統、計算機可讀存儲介質在說明書摘要公布了：本申請實施例公開一種套刻誤差補償方法及系統、存儲介質。套刻誤差補償方法，包括提供N個晶圓組，N個晶圓組中的每一晶圓組包括M個晶圓，M個晶圓中的每個晶圓包括當層和前層；其中，N和M均為大于等于2的正整數；根據當層和前層的器件結構確定每個晶圓的第一套刻誤差，并根據第一套刻誤差計算每個晶圓的光刻補償值；根據光刻補償值計算每一晶圓組的第一平均補償值；根據第一平均補償值計算N個晶圓組的第二平均補償值；若第二平均補償值在預設范圍內，則將第二平均補償值反饋至批次控制系統，以對第N+1個晶圓組進行補償。
本發明授權套刻誤差補償方法及系統、計算機可讀存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種套刻誤差補償方法，其特征在于，包括： 提供N個晶圓組，所述N個晶圓組中的每一晶圓組包括M個晶圓，所述M個晶圓中的每個晶圓包括當層和前層；其中，N和M均為大于等于2的正整數； 根據所述當層和所述前層的器件結構確定所述每個晶圓的第一套刻誤差，并根據所述第一套刻誤差計算所述每個晶圓的光刻補償值； 根據所述光刻補償值計算所述每一晶圓組的第一平均補償值； 根據所述第一平均補償值計算所述N個晶圓組的第二平均補償值； 若所述第二平均補償值在預設范圍內，則將所述第二平均補償值反饋至批次控制系統，以對第N+1個晶圓組進行補償。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人長鑫存儲技術有限公司，其通訊地址為：230601 安徽省合肥市經濟技術開發區空港工業園興業大道388號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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