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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利臺車和基片處理裝置的構成部件的支承方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114664712B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111508143.X，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權臺車和基片處理裝置的構成部件的支承方法是由藤田裕人;藤原潤設計研發完成，并于2021-12-10向國家知識產權局提交的專利申請。

本臺車和基片處理裝置的構成部件的支承方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種臺車和基片處理裝置的構成部件的支承方法。本發明的臺車，其用于在基片處理裝置的外部支承通過向橫向滑動而能夠被取出至外部的該裝置的構成部件，包括：臺車主體，其具有車輪而能夠在地面上移動，且包括支承所述構成部件的第1支承部；和第2支承部，其以能夠在使所述臺車的所述橫向的寬度成為第1長度的第1位置與使該橫向的寬度成為比第1長度大的第2長度的第2位置之間移動的方式與所述臺車主體連接，用于至少在所述第2位置與所述第1支承部一起支承所述構成部件。根據本發明，在將基片處理裝置的構成部件從該裝置取出到外部并支承于臺車時，能夠在必要時以外削減臺車所占的空間。

本發明授權臺車和基片處理裝置的構成部件的支承方法在權利要求書中公布了：1.一種臺車，其用于在基片處理裝置的外部支承通過向橫向滑動而能夠被取出至外部的該基片處理裝置的構成部件，其特征在于，包括： 臺車主體，其具有車輪而能夠在地面上移動，且包括支承所述構成部件的第1支承部；和 第2支承部，其以能夠在使所述臺車的所述橫向的寬度成為第1長度的第1位置與使該橫向的寬度成為比第1長度大的第2長度的第2位置之間移動的方式與所述臺車主體連接，用于至少在所述第2位置與所述第1支承部一起支承所述構成部件， 當使所述構成部件被取出的橫向為后方時， 所述第1支承部和所述第2支承部的組在左右方向上分開地設置，以分別支承所述構成部件的左右側， 各所述組中的第1支承部和所述第2支承部以在前后方向上排列的方式設置，并且該前后方向上的相對位置是可變更的， 設置有由能夠相互滑動的第1滑動部件和第2滑動部件構成的滑動部， 在所述第1支承部、所述第2支承部分別設置有所述第1滑動部件、所述第2滑動部件， 所述第2支承部包括：在前后方向上設置于所述第1支承部側的中間支承部；和相對于該中間支承部設置于與所述第1支承部相反的一側的端部側支承部， 所述滑動部設置有多個， 在所述第1支承部、所述中間支承部分別設置有一個所述滑動部中的所述第1滑動部件、所述第2滑動部件，該第1支承部和該中間支承部的前后方向上的相對位置是可變更的， 在所述端部側支承部、所述中間支承部分別設置有另一個所述滑動部中的所述第1滑動部件、所述第2滑動部件，該端部側支承部和該中間支承部的前后方向上的相對位置是可變更的。

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