圓益IPS股份有限公司黃雅英獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉圓益IPS股份有限公司申請的專利基板處理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115206829B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111541201.9，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權基板處理方法是由黃雅英;張源準;金周燮;樸坰;南尚錄;安海桭;李大成;金昶熏設計研發完成，并于2021-12-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板處理方法在說明書摘要公布了：本發明涉及基板處理方法，更詳細地說，涉及在處理基板時通過調節腔室內部的溫度可防止薄膜特性降低的基板處理方法。本發明公開了一種基板處理方法，包括：增壓步驟，將工藝壓力從第一壓力P1上升至大于大氣壓的第二壓力P2；降壓步驟，將工藝壓力從大于大氣壓的第六壓力P6降低至第七壓力P7；退火步驟，在高于常溫的第二溫度T2的溫度環境下在所述增壓步驟及所述降壓步驟之間以提前設定的壓力變化模式改變工藝壓力；其中，在所述增壓步驟執行中或者所述增壓步驟執行之后執行升溫步驟，所述升溫步驟是從提前設定的升溫時間點t1至提前設定的升溫終點t2將溫度環境從第一溫度T1升溫至所述第二溫度T2。
本發明授權基板處理方法在權利要求書中公布了：1.一種基板處理方法，包括： 增壓步驟，將工藝壓力從第一壓力P1上升至大于大氣壓的第二壓力P2； 降壓步驟，將工藝壓力從大于大氣壓的第六壓力P6降低至第七壓力P7； 退火步驟，在高于常溫的第二溫度T2的溫度環境下在所述增壓步驟及所述降壓步驟之間以提前設定的壓力變化模式改變工藝壓力而執行退火； 其中，在所述增壓步驟執行中或者所述增壓步驟執行之后執行升溫步驟，所述升溫步驟是從提前設定的升溫時間點t1至提前設定的升溫終點t2將溫度環境從第一溫度T1升溫至所述第二溫度T2， 在所述退火步驟執行之后執行降溫步驟，所述降溫步驟將溫度環境從第二溫度T2降溫至第三溫度T3， 其中，所述退火步驟包括： 下降模式，將所述工藝壓力從所述第二壓力P2降低；及 上升模式，將所述工藝壓力上升至所述第六壓力P6。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人圓益IPS股份有限公司，其通訊地址為：韓國京畿道平澤市振威面振威產團路75；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號