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          長江存儲科技有限責任公司陳陽獲國家專利權

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          龍圖騰網獲悉長江存儲科技有限責任公司申請的專利三維存儲結構及其制造方法、三維存儲器、存儲系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114497058B

          龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210112076.8,技術領域涉及:H10B43/30;該發明授權三維存儲結構及其制造方法、三維存儲器、存儲系統是由陳陽;王迪;張中;周文犀設計研發完成,并于2022-01-28向國家知識產權局提交的專利申請。

          三維存儲結構及其制造方法、三維存儲器、存儲系統在說明書摘要公布了:本公開涉及一種三維存儲結構及其制造方法、三維存儲器、存儲系統。該用于制造三維存儲結構的方法包括:在襯底上形成疊層結構,其中,疊層結構包括通過堆疊第一材料層和第二材料層形成的多個堆疊層;在疊層結構中形成多個接觸孔,接觸孔自疊層結構遠離襯底的一側沿多個堆疊層的堆疊方向延伸,多個接觸孔包括至少兩組接觸孔;延長每組接觸孔中的至少一個,使同一組接觸孔中的每個接觸孔延伸至不同高度位置的第一材料層;延長至少一組的接觸孔,使每組接觸孔中的任一個接觸孔與其他組接觸孔中的任一個接觸孔延伸至不同的高度位置;以及在接觸孔中形成導電通道結構。

          本發明授權三維存儲結構及其制造方法、三維存儲器、存儲系統在權利要求書中公布了:1.一種用于制造三維存儲結構的方法,其特征在于,包括: 在襯底上形成疊層結構,其中,所述疊層結構包括通過堆疊第一材料層和第二材料層形成的多個堆疊層; 在所述疊層結構中形成多個接觸孔,所述接觸孔自所述疊層結構遠離所述襯底的一側沿所述多個堆疊層的堆疊方向延伸,所述多個接觸孔包括至少兩組接觸孔; 延長每組所述接觸孔中的至少一個,使同一組所述接觸孔中的每個所述接觸孔延伸至不同高度位置的所述第一材料層; 延長至少一組的所述接觸孔,使每組所述接觸孔中的任一個接觸孔與其他組所述接觸孔中的任一個接觸孔延伸至不同的高度位置; 以及在所述接觸孔中形成導電通道結構; 形成貫穿所述襯底和所述疊層結構的虛擬溝道結構,沿平行于所述襯底表面的方向,所述虛擬溝道結構的貫穿所述襯底的部分的尺寸大于所述虛擬溝道結構的貫穿所述疊層結構的部分的尺寸;相鄰的所述導電通道結構之間具有所述虛擬溝道結構。

          如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人長江存儲科技有限責任公司,其通訊地址為:430000 湖北省武漢市東湖新技術開發區未來三路88號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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