電子科技大學錢凌軒獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉電子科技大學申請的專利一種大范圍np連續可調的石墨烯摻雜方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115295403B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210318765.4,技術領域涉及:H01L21/04;該發明授權一種大范圍np連續可調的石墨烯摻雜方法是由錢凌軒;黃子羽;李雪松;張萬里設計研發完成,并于2022-03-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種大范圍np連續可調的石墨烯摻雜方法在說明書摘要公布了:本發明屬于電子信息材料與元器件領域,具體為一種大范圍np連續可調的石墨烯摻雜方法。是利用錫氧化物具備多相共存的特性,且它的各相對石墨烯具有不同的摻雜效果:金屬相誘導強n型摻雜,二價的SnO相誘導弱n型摻雜,四價的SnO2相誘導強p型摻雜這一特點,通過退火改變其氧化程度控制各相所占比例,實現石墨烯的介于強n型與強p型之間的跨類型大范圍連續調控大范圍連續可調摻雜。克服了現有摻雜方法中摻雜類型單一、摻雜調控范圍窄以及缺乏有效的p型摻雜調控的問題。
本發明授權一種大范圍np連續可調的石墨烯摻雜方法在權利要求書中公布了:1.一種大范圍np連續可調的石墨烯摻雜方法,其特征在于,包括以下步驟: 步驟1、在石墨烯上沉積一層錫氧化物薄膜; 步驟2、對步驟1所得結構進行退火處理,退火處理的詳細過程為:將步驟1所得結構置于退火爐中,氮氣、氧氣或空氣氣氛下,以10℃~30℃min的升溫速率由室溫升至225℃~275℃,退火60min; 通過退火處理得到摻雜石墨烯,該摻雜石墨烯能夠實現介于強n型與強p型之間的大范圍連續可調摻雜。
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