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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司申請(qǐng)的專利一種支撐裝置、干燥裝置及清洗機(jī)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115483140B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202211171175.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/673；該發(fā)明授權(quán)一種支撐裝置、干燥裝置及清洗機(jī)是由王昭;趙宏宇;王廣永;馬宏帥設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-09-23向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種支撐裝置、干燥裝置及清洗機(jī)在說明書摘要公布了：本申請(qǐng)公開了一種支撐裝置、干燥裝置及清洗機(jī)，支撐裝置用于支撐晶圓，包括至少兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的支撐組件，支撐組件包括位于頂部的多個(gè)限位齒，限位齒沿支撐組件的長(zhǎng)度方向排列，相鄰兩個(gè)限位齒之間形成齒槽；支撐組件中的至少一個(gè)還包括設(shè)置于齒槽旁側(cè)并采用吸水材料制作的支撐部；支撐部的頂面高于齒槽的底面，并且低于限位齒的頂部，用于當(dāng)晶圓被插入齒槽中時(shí)對(duì)晶圓的端面進(jìn)行支撐。本申請(qǐng)的支撐裝置，晶圓兩個(gè)側(cè)面通過兩側(cè)的限位齒進(jìn)行限位，晶圓的端面支撐在支撐部上，由于支撐部采用吸水材料制作，晶圓上殘留的水可以被吸水材料吸走。該支撐裝置的支撐部對(duì)應(yīng)的接觸點(diǎn)不需要壓力泵進(jìn)行輔助干燥，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低。

本發(fā)明授權(quán)一種支撐裝置、干燥裝置及清洗機(jī)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種支撐裝置，用于支撐晶圓，所述支撐裝置包括至少兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的支撐組件，其特征在于， 所述支撐組件包括位于頂部的多個(gè)限位齒，所述限位齒沿所述支撐組件的長(zhǎng)度方向排列，相鄰兩個(gè)所述限位齒之間形成齒槽； 所述支撐組件中的至少一個(gè)還包括設(shè)置于所述齒槽旁側(cè)并采用吸水材料制作的支撐部；所述支撐部的頂面高于所述齒槽的底面，并且低于所述限位齒的頂部，用于當(dāng)晶圓被插入所述齒槽中時(shí)對(duì)所述晶圓的端面進(jìn)行支撐。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道8號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。