上海科技大學吳濤獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海科技大學申請的專利多電極驅動的高階模式壓電微機械超聲換能器及應用獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115889153B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211285363.5,技術領域涉及:B06B1/06;該發明授權多電極驅動的高階模式壓電微機械超聲換能器及應用是由吳濤;劉康福;陸瑤卿設計研發完成,并于2022-10-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本多電極驅動的高階模式壓電微機械超聲換能器及應用在說明書摘要公布了:本發明的一個技術方案是提供了一種多電極驅動的高階模式壓電微機械超聲換能器。本發明的另一個技術方案是提供了一種前述的多電極驅動的高階模式壓電微機械超聲換能器的應用。本發明提供了一種多電極驅動的基于高階模式的壓電微機械超聲換能器。在優選的驅動電極設計下,n階模式的發射靈敏度大約是一階模式聲壓的n2倍,同時輻射方向性也更為集中。高階模式的壓電微機械超聲換能器解決了一階模式的壓電微機械超聲換能器的發射聲壓低,發射效率低,抗串擾能力差的問題,因而高階模式的壓電微機械超聲換能器在形成大規模高方向性的陣列上具有顯著優勢。
本發明授權多電極驅動的高階模式壓電微機械超聲換能器及應用在權利要求書中公布了:1.一種多電極驅動的高階模式壓電微機械超聲換能器,其特征在于,包括多層懸空薄膜結構,對于采用單壓電層結構的多層懸空薄膜結構,該多層懸空薄膜結構至少包括壓電層、彈性層以及電極層,其中: 壓電層為壓電材料層; 彈性層為非壓電材料疊層,或為無電壓驅動的壓電材料疊層; 電極層,用于形成多層電極組,在壓電層上、下兩側均有一層電極組; 在施加外電場時,在上、下兩側的電極組之間的壓電層產生應力應變,同時,彈性層不受電場所影響;基于壓電層與彈性層之間應力的差異,多層懸空薄膜結構發生彎曲; 對于采用n壓電層的多層懸空薄膜結構,n≥2,該多層懸空薄膜結構至少包括n層壓電層、彈性層以及電極層,其中: 壓電層為壓電材料層; 彈性層為非壓電材料疊層,或為無電壓驅動的壓電材料疊層; 電極層,用于形成多層電極組,在每層壓電層上、下兩側均有一層電極組; 在施加外電場時,位于上、下兩側的電極組之間的壓電層產生應力應變,相鄰的壓電層產生的應力相反;基于相鄰兩個壓電層之間應力的差異,多層懸空薄膜結構發生彎曲; 當電極組中的電極使壓電層所產生應力分布越符合一階對稱模式、或三階對稱模式、或五階對稱模式的應力分布時,越有利于激勵該特征模式,通過多電極激勵方式來有效激勵高階模式。
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